磁控濺射膜常見故障的排除

時(shí)間：2012-05-10作者：浙江志州自動(dòng)化設(shè)備有限公司瀏覽：511

磁控濺射膜常見故障的排除
    膜層灰暗及發(fā)黑
(1)真空度**0.67Pa。應(yīng)將真空度提高到0.13-0.4Pa。

 (2)氬氣純度**99．9％。應(yīng)換用純度為99．99％的氬氣。
 (3)充氣系統(tǒng)漏氣。應(yīng)檢查充氣系統(tǒng)，排除漏氣現(xiàn)象。
 (4)底漆未充分固化。應(yīng)適當(dāng)延長(zhǎng)底漆的固化時(shí)間。
 (5)鍍件放氣量太大。應(yīng)進(jìn)行干燥和封孔處理
膜層表面光澤暗淡
(1)底漆固化不良或變質(zhì)。應(yīng)適當(dāng)延長(zhǎng)底漆的固化時(shí)間或更換底漆。
  (2)濺射時(shí)間太長(zhǎng)。應(yīng)適當(dāng)縮短。
  (3)濺射成膜速度太快。應(yīng)適當(dāng)降低濺射電流或電壓

膜層色澤不均
(1)底漆噴涂得不均勻。應(yīng)改進(jìn)底漆的施涂方法。
  (2)膜層太薄。應(yīng)適當(dāng)提高濺射速度或延長(zhǎng)濺射時(shí)間。
  (3)夾具設(shè)計(jì)不合理。應(yīng)改進(jìn)夾具設(shè)計(jì)。
  (4)鍍件的幾何形狀太復(fù)雜。應(yīng)適當(dāng)提高鍍件的旋轉(zhuǎn)速度
膜層發(fā)皺、龜裂
(1)底漆噴涂得太厚。應(yīng)控制在7—lOtan厚度范圍內(nèi)。
  (2)涂料的粘度太高。應(yīng)適當(dāng)降低。
  (3)蒸發(fā)速度太快。應(yīng)適當(dāng)減慢。
  (4)膜層太厚。應(yīng)適當(dāng)縮短濺射時(shí)間。
  (5)鍍件溫度太高。應(yīng)適當(dāng)縮短對(duì)鍍件的加溫時(shí)間
膜層表面有水跡、指紋及灰粒
(1)鍍件清洗后未充分干燥。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理。
  (2)鍍件表面濺上水珠或唾液。應(yīng)加強(qiáng)文明生產(chǎn)，操作者應(yīng)帶口罩。
  (3)涂底漆后手接觸過鍍件，表面留下指紋。應(yīng)嚴(yán)禁用手接觸鍍件表面。
  (4)涂料中有顆粒物。應(yīng)過濾涂料或更換涂料。
  (5)靜電除塵失效或噴涂和固化環(huán)境中有顆粒灰塵。應(yīng)更換除塵器，并保持工作環(huán)境的清潔
膜層附著力不良
(1)鍍件除油脫脂不徹底。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理。
  (2)真空室內(nèi)不清潔。應(yīng)清洗真空室。值得注意的是，在裝靶和拆靶的過程中，嚴(yán)禁用手
或不干凈的物體與磁控源接觸，以保證磁控源具有較高的清潔度，這是提高膜層結(jié)合力的
要措施之一。
  (3)夾具不清潔。應(yīng)清洗夾具。
  (4)底涂料選用不當(dāng)。應(yīng)更換涂料。
  (5)濺射工藝條件控制不當(dāng)。應(yīng)改進(jìn)濺射工藝條件



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  詞條說明

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  一、服務(wù)承諾： 中心城市24小時(shí)內(nèi)上門，邊遠(yuǎn)地區(qū)預(yù)約服務(wù)。 二、保修政策 1、按合同保修條例保修； 2、其他按國(guó)家三包規(guī)定執(zhí)行。 三、保修規(guī)定 1、據(jù)合同保修承認(rèn)，在保修期內(nèi)，可獲免費(fèi)保修待遇； 2、他情況同我司協(xié)商處理。 四、不屬于保修的范圍 1、消費(fèi)者因使用、維護(hù)、保管不當(dāng)造成損壞的； 2、自行修理者拆動(dòng)造成損壞的； 3、因不可抗拒力造成損壞的（雷擊、雨淋等）。 在保修有效期內(nèi)，因產(chǎn)品不符合保

• 磁控濺射膜常見故障的排除

  磁控濺射膜常見故障的排除 ????膜層灰暗及發(fā)黑 (1)真空度**0.67Pa。應(yīng)將真空度提高到0.13-0.4Pa。 ?(2)氬氣純度**99．9％。應(yīng)換用純度為99．99％的氬氣。 ?(3)充氣系統(tǒng)漏氣。應(yīng)檢查充氣系統(tǒng)，排除漏氣現(xiàn)象。 ?(4)底漆未充分固化。應(yīng)適當(dāng)延長(zhǎng)底漆的固化時(shí)間。 ?(5)鍍件放氣量太大。應(yīng)

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