潔凈空間的溫濕度根據(jù)工藝要求來(lái)確定

    潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間溫度不宜**過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度**過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度**30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也*吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件*發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)良好濕度范圍為35—45%。
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  • 詞條

    詞條說(shuō)明

  • 潔凈空調(diào)的使用已越來(lái)越廣泛

    隨著潔凈室的應(yīng)用,潔凈空調(diào)的使用已越來(lái)越廣泛,潔凈度的等級(jí)也在提高。不少潔凈空調(diào)通過(guò)精心設(shè)計(jì)、認(rèn)真施工,獲得了成功,但也有的潔凈空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)施工完成后因達(dá)不到潔凈度要求而降級(jí)使用,甚至報(bào)廢改作一般空調(diào)。潔凈空調(diào)系統(tǒng)的技術(shù)要求、施工質(zhì)量要求高,投資大,一旦失敗,無(wú)論從財(cái)力、物力、人力上講都會(huì)造成浪費(fèi),因此要搞好潔凈空調(diào)系統(tǒng),除**的設(shè)計(jì)圖紙以外,還要求高質(zhì)量高水平的施工。 材料選用。潔凈空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)

  • 使用電子凈化工程之后要干什么

    在每天使用電子凈化工程之后,都應(yīng)該將設(shè)備表面以及實(shí)驗(yàn)臺(tái)表面的灰塵清除干凈,這樣才不會(huì)因?yàn)榛覊m的堆積,導(dǎo)致凈化工程內(nèi)部結(jié)構(gòu)、性能受到影響,要知道灰塵的堆積,對(duì)其電子凈化工程的損害是很大的。 如果電子凈化工程內(nèi)部當(dāng)中的任何設(shè)備或是結(jié)構(gòu)在運(yùn)行過(guò)程當(dāng)中出現(xiàn)故障問(wèn)題,這個(gè)時(shí)候用戶(hù)不能私自拆卸維修,必須通知相關(guān)生產(chǎn)廠(chǎng)家的專(zhuān)業(yè)工作人員,讓其派遣專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員前來(lái)檢查。 任何行業(yè)引進(jìn)了這樣的電子凈化工程都應(yīng)該制定

  • 建設(shè)醫(yī)用無(wú)塵凈化車(chē)間

    醫(yī)用制造行業(yè)污染物排放量大,治理難度高,特別是發(fā)酵類(lèi)、化學(xué)合成類(lèi)制藥企業(yè),近年來(lái)成為環(huán)境監(jiān)管的重點(diǎn)。如何解決這一經(jīng)濟(jì)效益和環(huán)境效益的兩難問(wèn)題呢?原有的污染發(fā)展模式是難以持續(xù)的,對(duì)于制藥企業(yè)來(lái)說(shuō),當(dāng)務(wù)之急是建設(shè)無(wú)塵凈化車(chē)間,利用空氣凈化設(shè)備,把車(chē)間內(nèi)的藥物粉塵、揮發(fā)的藥物氣體等污染物集中排出車(chē)間,排出時(shí)嚴(yán)格按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)安裝凈化回收裝置,保證氣體潔凈后再排入大氣。 建設(shè)醫(yī)用無(wú)塵凈化車(chē)間,制藥企業(yè)不再

  • 根據(jù)自己的需求找凈化公司

    凈化工程公司其實(shí)大多數(shù)還是不錯(cuò)的,我們?cè)趯ふ疫@些公司的時(shí)候,有很多方面要注意的,但關(guān)鍵的的一點(diǎn)就是要注意其資質(zhì)。我們知道,有資質(zhì)的凈化工程公司代表他們是有實(shí)力的,而且有專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)在操作。專(zhuān)業(yè)人,做專(zhuān)業(yè)事。如果他們不具備資質(zhì),不管宣傳得自己多么好,都不要聯(lián)系,說(shuō)明他們的能力還達(dá)不到國(guó)家要求的標(biāo)準(zhǔn),也就是說(shuō),自己所需要的效果他們未必能夠做得到。 此外,在面對(duì)網(wǎng)上凈化工程公司的信息時(shí),一定不要急于下結(jié)論

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