光學(xué)微電子行業(yè)無(wú)塵車(chē)間空氣參數(shù)要求

時(shí)間：2018-09-20作者：山東星月凈化工程有限公司瀏覽：79

對(duì)于常規(guī)電子廠(chǎng)房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠(chǎng)房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。那么光學(xué)微電子行業(yè)無(wú)塵車(chē)間空氣參數(shù)要求您知道嘛？跟小編一起來(lái)看看吧。

(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%。

(2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮 空氣量≥40m3/h。

(3)送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車(chē)間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。





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• 詞條

  詞條說(shuō)明

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