低溫高壓氫氣純化器

時(shí)間：2017-04-14作者：深圳市瑞麟科技有限公司瀏覽：113

低溫高壓氫氣純化器

  電解制氫裝置生產(chǎn)的氫氣中含有飽和狀態(tài)的水和一定量的氧氣，必須設(shè)置氫氣純化設(shè)備進(jìn)行純化處理方能滿(mǎn)足對(duì)氫氣純度有較高要求的用戶(hù)，尤其是半導(dǎo)體公司的晶圓生產(chǎn)線(xiàn)，只有高純度的氫氣才能幫組其生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品。深圳市瑞麟科技有限公司代理美國(guó)AET公司的低溫高壓氫氣純化器，該公司的設(shè)計(jì)和制造的產(chǎn)品可為用戶(hù)量身定制，滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)高壓工作條件下的氫氣純化要求。

應(yīng)用范圍
電子、半導(dǎo)體、LED和多晶硅等行業(yè)

工作原理
  該純化系統(tǒng)中包含多個(gè)換熱器用于降低氣體溫度，在低溫高壓下，將硅膠至于液氮中用作催化劑實(shí)現(xiàn)氫氣提純。
具體工作原理如下：
  含雜質(zhì)的氫氣/氦氣流入純化器并分成兩股。 一股氣流流經(jīng)換熱器Ⅰ, 與返回的純氫氣/氦氣交換熱量且被冷卻。 另一股較小的氣流流入換熱器Ⅱ，并與離開(kāi)換熱器Ⅲ的氮?dú)饽媪鹘粨Q熱量被冷卻。這兩股氣流重新匯合后流入換熱器Ⅲ內(nèi)的浸沒(méi)在液氮中的盤(pán)管中, 在那里它被冷卻到液氮的溫度。 
然后它進(jìn)入分離器中去除液氮或液氧的液滴。分離器中的液位由液位控制器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè), 液滴被收集后排出。換熱器Ⅲ中的液氮吸收熱量產(chǎn)生氮?dú)? 氮?dú)饽嫦蛄魅霌Q熱器Ⅱ中, 冷卻進(jìn)入換熱器Ⅱ的非純氣體。 
含雜質(zhì)的氫氣/氦氣繼續(xù)流動(dòng)并進(jìn)入吸附器的硅膠冷卻床, 硅膠在這里起到吸附的作用, 氣體中的雜質(zhì)被吸附到硅膠的表面, 氣體得到純化。 
被純化的氣體離開(kāi)硅膠床并返回?fù)Q熱器Ⅰ，在那里與較大的含雜質(zhì)氣流進(jìn)行熱交換并作為純凈氣體輸出。
示意圖如下： 


AET司開(kāi)發(fā)了幾個(gè)主要型號(hào)的高壓氫氣/氦氣純化器，除表A1外，也提供定制產(chǎn)品。 AET現(xiàn)有的高壓氫氣/氦氣純化器由表A1所示。表A2提供了高壓氫氣/氦氣純化器的一些可選配件。 

A1 高壓氫氣/氦氣純化器 
? 	型號(hào) "A" (100ppm) 
流量 (Nm3/hr) 	0-150 	151-250 	0-150 	151-250 
分離器 	NO 	NO 	YES 	YES 
真空管 	YES 	YES 	YES 	YES 
加熱裝置 	YES 	YES 	YES 	YES 
再生過(guò)程 	半自動(dòng) 	半自動(dòng) 	半自動(dòng) 	半自動(dòng) 
壓力 	3000PSIG   過(guò)程氣 	3000PSIG   過(guò)程氣 	3000PSIG   過(guò)程氣 	3000PSIG   過(guò)程氣 

表A2：高壓純化器的可選配置 
控制元件 	自動(dòng)、半自動(dòng)或者手動(dòng) 
吸附媒介 	活性碳 、二氧化硅、氧化鋁、沸石 
去油裝置 	有或無(wú) 
去水裝置 	有或無(wú) 
真空容器材質(zhì) 	碳素鋼或不銹鋼 
排放管 	不銹鋼，拋光，電解拋光 
吸附器 標(biāo)準(zhǔn) 	PED、ASME、中國(guó)、俄羅斯、日本 
單位數(shù)量 	1.2.3等 


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