聚焦離子束（FIB）在成分分析中的應用

時間：2020-02-14作者：深圳市啟威測標準技術(shù)服務有限公司瀏覽：191

焦離子束工作原理： 

聚焦離子束顯微鏡(FIB)的利用鎵(Ga)金屬作為離子源，再加上負電場 (Extractor) 牽引**細小的鎵原子，而導出鎵離子束再以電透鏡聚焦，經(jīng)過一連串可變孔徑光闌，決定離子束的大小，再經(jīng)過二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面，利用物理碰撞來進行特定圖案的加工，一般單粒子束的FIB(Single Beam FIB)，可以提供材料切割、沉積金屬、蝕刻金屬和選擇性蝕刻氧化層等功能。若結(jié)合場**式電子顯微鏡進行實時觀測，即所謂的雙粒子束FIB(Dual Beam FIB) 。




聚焦離子束應用： 

(1)  形貌和成分分析：FIB可以對納米顆粒材料表面進行形貌觀察，還可以在特定位置作截面斷層，直觀的進行材料的截面結(jié)構(gòu)形態(tài)的**分析，觀察結(jié)構(gòu)是否存在缺陷等異常。







(2) 制備TEM、3DAP、EBSD樣品：FIB因其樣品制備精度高、速度快已經(jīng)成為特殊樣品制備、精細結(jié)構(gòu)加工的重要方法。其中制備TEM截面樣品就是其中重要用途。FIB制備的TEM樣品厚度在100nm以下，且成功率很高，所以經(jīng)常用來制備薄膜、陶瓷等塊體的TEM樣品。此外，電子束無法穿透的微米級顆粒，也可用FIB制備一個薄截面樣品再進行TEM測試。


                       

(3)  三維表征技術(shù)（FIB-HIM）： 在掃描電鏡中可以獲得觀察區(qū)域的表面形貌、化學成分、晶體取向等信息。三維重構(gòu)（3D）允許從各個角度觀察樣品，尤其當樣品中有一些網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，不同的相交織在一起，利用FIB三維成像可將它們內(nèi)部的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)清晰的表征出來，甚至重構(gòu)樣品里小缺陷（<100nm）的三維形狀和尺寸。 










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• 詞條

  詞條說明

• 表面分析檢測包括哪些項目？

  表面分析檢測項目：?材料表面（薄膜）基本力學性能（納米壓痕儀）?材料的硬度（顯微硬度計）?薄膜與基體的結(jié)合力（大載荷劃痕儀，納米劃痕儀）?抗摩擦磨損能力（摩擦磨損試驗機，劃痕儀）?表面應力分析（X 射線衍射儀，納米壓痕 model 軟件）?材料物理化學性能：?耐腐蝕性能（鹽霧試驗機）?電化學性能（電化學工作站）&nbs

• 什么是表面微觀形貌SEM？

  表面所具有的微觀幾何形狀統(tǒng)稱為表面形貌(surface?topography)，?其中表面被定義為-?-種材料與其它材料之間的分界面"?(在工程表面的情況下，一種材料是空氣，另-種為固體材料，例如金屬、塑料等)。固體表面是指固體上代表實體和周圍環(huán)境邊界的部分。工程表面形貌代表著工件表面的主要外部特征，是由加工過程中的各種工序產(chǎn)生的。一個制件表面的微觀幾何形貌

• 聚焦離子束（FIB）在成分分析中的應用

  焦離子束工作原理：? 聚焦離子束顯微鏡(FIB)的利用鎵(Ga)金屬作為離子源，再加上負電場?(Extractor)?牽引**細小的鎵原子，而導出鎵離子束再以電透鏡聚焦，經(jīng)過一連串可變孔徑光闌，決定離子束的大小，再經(jīng)過二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面，利用物理碰撞來進行特定圖案的加工，一般單粒子束的FIB(Single Beam FIB)，可以提供材料切割、沉積金屬、

• 表面成分分析的常見方法

  表面成分分析按照結(jié)論來區(qū)分，物質(zhì)成分分析分為定性分析和定量分析兩種.成分分析的定性結(jié)果?通俗的理解是——通過成分分析的手段得出被測物中主要包括的成分，概況的來說就是確定物質(zhì)的組分。成分分析的定量結(jié)果?通俗的理解是——在確定被測物的定性組分之后，進行相應的定量分析，得出各種組分的分配比例。按照現(xiàn)在的科學技術(shù)，定量分析只能做到無限接近真實情況，但卻無法**保證準確。定性半定量分