半導體行業(yè)工藝制程真空應用

時間：2021-03-17作者：深圳高志自動機電有限公司瀏覽：48

       真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。在光伏鋰電半導體面板等要求較高的領域，生產商往往需要一個較其潔凈的環(huán)境以保證生產過程中產品不受空氣污染或擾動的影響。比如在半導體器件的生產過程中，每一半導體器件都包含著許多層各種各樣的材料，如果在這些不同的材料層之間混入氣體分子，就會破壞器件的電學或光學性能；或者在半導體器件的加工過程中，需要用電子束、離子束和分子束等粒子對材料進行照射和轟擊，在大氣中氣體分子就會和這些粒子發(fā)生碰撞，大大縮短它們的行進路程，結果導致絕大多數粒子到達不了材料表面。因此，真空泵是光伏鋰電半導體面板等領域中*的通用設備，廣泛應用于單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程，較高的真空要求對真空設備提出了較高的技術要求。
       干式螺桿真空泵是微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)可以選擇真空獲得設備。真空泵的發(fā)展愈來愈受到應用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油的耐腐蝕的要求，螺桿真空泵是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種，以抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔組件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點占據市場。介于其優(yōu)越的性能，在歐美日國家已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)可以選擇真空獲得設備。
       半導體真空泵是半導體各工藝制程環(huán)節(jié)*的通用設備。半導體產業(yè)鏈主要分為IC設計、晶圓制造和芯片封測三大環(huán)節(jié)。一般來說晶圓制造可以細分為前道和后道兩個工藝步驟。前道工藝是將硅材料加工制造成晶圓片，通過光刻機曝光等多道工序將IC設計圖案加載到晶圓上，制成集成電路；后道工藝是將載有集成電路的晶圓分割成基本單元，通過封裝、測試后制成較終的集成電路產品，半導體真空泵可廣泛應用于晶圓制造過程中的單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。
       HANBELL漢鐘為半導體行業(yè)的各種真空應用推出了IPM半導體中度嚴苛系列，IPH半導體嚴苛系列和PMF半導體干凈系列干式螺桿真空泵，歡迎來電咨詢。


深圳高志自動機電有限公司專注于美國GAST真空泵,HANBELL漢鐘干式螺桿真空,日本HORI車載空壓機等

• 詞條

  詞條說明

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• 真空泵的應用領域

  真空泵的定義“真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。限壓力(限真空)從粗真空到10-12Pa以上的高真空范圍?！币?、液環(huán)真空泵工作原理液環(huán)泵應用領域：紙漿和紙張生產中的應用：黑液蒸發(fā)、粗漿

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