等離子清洗機(jī)，光刻膠剝離

時(shí)間：2022-04-30作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：95

等離子清洗機(jī)用于清洗晶元（Wafer），去除表面光刻膠。具有高度的均勻性，穩(wěn)定的刻蝕速率。等離子體清洗機(jī)在處理晶圓表面光刻膠時(shí)，等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余**物，也可以通過等離子活化和粗化作用，對晶圓表面進(jìn)行處理，能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學(xué)方法，等離子體清洗機(jī)干式處理的可控性強(qiáng)，一致性好，并且對基體沒有損害。




等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合。等離子清洗機(jī)能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力




等離子清洗機(jī)的應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、晶圓凸點(diǎn)、消除靜電、介電質(zhì)刻蝕、**污染去除、晶圓減壓等。使用等離子清洗機(jī)不僅去除光刻膠和其他**物，而且活化和粗化晶圓表面，提高晶圓表面浸潤性。






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  詞條說明

• 等離子清洗機(jī)在LED行業(yè)的作用

  等離子清洗機(jī)在LED行業(yè)中的作用:(1)等離子清洗機(jī)能去除基板上的污染物，顯著提高材料表面粗糙度和親水性，有利于銀膠平鋪及芯片粘貼。(2)等離子處理設(shè)備提高引線與芯片及基板之間焊接的粘附性，增強(qiáng)鍵合強(qiáng)度，等離子體清洗機(jī)可顯著提高芯片的表面活性，從而提高粘接強(qiáng)度和導(dǎo)線的拉伸均勻性(3)等離子處理設(shè)備清洗氧化層或者污物，使芯片與基板會緊密和膠體相結(jié)合。等離子清洗機(jī)處理后，晶片與基緊密地結(jié)合，大大降低了

• 等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

  等離子清洗機(jī)適用于各種材料的表面改性處理∶表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學(xué)氣相沉積。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等

• 等離子清洗機(jī)優(yōu)化玻璃鍍膜、粘合工藝

  等離子清洗機(jī)能有效的改善表面潤濕性，等離子處理機(jī)不但可以進(jìn)行表面清洗，還能提高表面活性，等離子體與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團(tuán)，應(yīng)用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離

• 等離子清洗機(jī)在FPC/PCB行業(yè)的應(yīng)用

  線路板等離子清潔機(jī)，PCB等離子去膠機(jī)，PCB電路板等離子清洗機(jī)行業(yè)應(yīng)用1. 多層柔性板除膠渣、軟硬結(jié)合板除膠渣、FR-4高厚徑比微孔、高TG板材除膠渣（Desmear）;等離子清洗機(jī)能提高孔壁與鍍銅層結(jié)合力，去除膠渣，提高通斷可靠性，防止內(nèi)層鍍銅后開路。2. PTFE（鐵氟龍）高頻板沉銅前孔壁的表面活化（Modification）:等離子清洗機(jī)能提高孔壁與鍍銅的結(jié)合力，杜絕出現(xiàn)黑孔，高溫焊接后爆