等離子清洗機集成電路去膠

時間：2022-05-30作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：122

等離子體清洗機的表面處理技術(shù)是利用等離子體實現(xiàn)常規(guī)清洗方法所不能達到的。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的四態(tài)，與一般的固體氣體三態(tài)不同。向氣體施加足夠的能量，使其離化，即為等離子態(tài)。其“活性”成分包括：離子、電子、原子、活化基、光子等。等離子清洗法是利用這些活性成分對試樣表面進行處理，達到清潔、涂覆等目的。工件表面經(jīng)化學(xué)或物理處理后，可在分子水平上去除污染物，從而提高工件表面活性。

在微電子技術(shù)中，光刻膠是一種非常重要的微細圖形材料，它的主要作用是在表面上進行化學(xué)或機械處理時，對基片上的基片進行保護。當刻蝕或離子注入后，就不再需要光刻膠作為保護層，可將其去除。光刻膠去膠效果太差，影響生產(chǎn)效率，去膠效果太強，容易損壞基底，影響到整個產(chǎn)品的成品率。







采用等離子體表面處理技術(shù)剝離光刻膠時，要在等離子體環(huán)境中通過氧原子核和光刻膠進行反應(yīng)，以消除光刻膠，因為光刻膠的基本成分為烴類**物，氧離成氧原子，在射頻或微波的作用下，電離成氧原子，與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生一氧化碳、二氧化碳、水等，再經(jīng)泵真空抽空。去除光刻膠的過程。








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  詞條說明

• 等離子清洗機，光學(xué)行業(yè)的表面活化

  光學(xué)行業(yè)表面活化等離子清洗機應(yīng)用：鏡頭清潔光學(xué)鏡頭的清潔，眼科學(xué)提高隱形眼鏡的浸潤性，光導(dǎo)釬維改善光纖連接器的光學(xué)傳輸?shù)入x子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等

• 等離子清洗機去除光學(xué)元件污染物

  光學(xué)元件等離子清洗去除表面**污染物光學(xué)元件等離子體清洗機去除附著的**污染物，恢復(fù)元件的光學(xué)性能和表面形貌，同時不能降低其抗污染性能。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合

• 等離子清洗機應(yīng)用于太陽能光伏

  等離子清洗機應(yīng)用于太陽能光伏行業(yè)：對玻璃基板,陽表面改性,涂保護膜前處理;等離子處理機清洗后玻璃基板水滴夾角小于5度,有效優(yōu)化陽表面化學(xué)組成,降低方塊電阻,活化硅表面,大大提高其表面附著力。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠

• 等離子清洗機對HDI板孔（微小孔）的處理

  等離子清洗機清洗微小孔的作用等離子清洗機對于PCB線路板的活化處理：高頻產(chǎn)生的等離子體方向性不強，可以深入物體的微細孔眼和凹陷內(nèi)，特別適合用于線路板生產(chǎn)中盲孔以及微小孔的清洗；整個清洗工藝流程在幾分鐘內(nèi)即可完成。此處理方法為干法制程，操作簡便、處理質(zhì)量穩(wěn)定且可靠，適合于批量化生產(chǎn)。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表