FORMFACTOR自主硅光子測量助手Autonomous SiPh

    產(chǎn)品名稱:FORMFACTOR自主硅光子測量助手Autonomous SiPh
    產(chǎn)品型號:Autonomous SiPh
    產(chǎn)品介紹


    FormFactor 的自主硅光子測量助手設(shè)定了晶圓和芯片級硅光子探測的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。這種高度靈活的解決方案提供了多種測試技術(shù),從單光纖到陣列,從垂直耦合到邊緣耦合。憑借用于校準(zhǔn)的全新革命性 OptoVue、智能機(jī)器視覺算法和適用于黑暗、屏蔽和無霜環(huán)境的SiPh TopHat,該系統(tǒng)可在多個溫度下實現(xiàn)免提自主校準(zhǔn)和重新校準(zhǔn)。這樣可以快地進(jìn)行準(zhǔn)確的測量并降低測試成本。
    使用單根光纖和光纖陣列作為探針將光耦合進(jìn)出晶圓以進(jìn)行表面和邊緣耦合,這帶來了許多挑戰(zhàn),F(xiàn)ormFactor 通過其接觸智能技術(shù)進(jìn)行管理。與電氣測試不同,光學(xué)測試使用的光纖和光纖陣列不接觸其相應(yīng)的“焊盤”,即晶圓表面和邊緣上的光柵耦合器或小平面。
    使用**的圖像處理和專門開發(fā)的算法,Z 高度設(shè)置、光纖到小平面間隙以及探針臺定位解決方案的一套自動校準(zhǔn)可用。
    FormFactor 還實施了 Z 位移傳感技術(shù),該技術(shù)可在裸片到裸片步進(jìn)時實現(xiàn)纖維和陣列的準(zhǔn)確亞微米級放置精度。這些自動化光學(xué)功能還可以與可編程直流和射頻定位技術(shù)相結(jié)合,以創(chuàng)建自動化的光-光、光-電和光-電-光測試平臺。
    對于光學(xué)應(yīng)用,Contact Intelligence 將過去需要數(shù)天、數(shù)周或數(shù)月的時間縮短到幾分鐘,同時在動態(tài)工程環(huán)境和穩(wěn)定的可重復(fù)生產(chǎn)環(huán)境中提供靈活性。
    自主硅光子測量助手可用于以下 200 毫米和 300 毫米探針臺:CM300xi-SiPh 和 SUMMIT200。


    性能特點


    視光
    ? 晶圓和芯片級光子學(xué)探測的技術(shù)進(jìn)步
    ? 實時原位校準(zhǔn)
    ? 單片測試
    ? 芯片級邊緣耦合
    ? 原位功率測量
    ? 校準(zhǔn)技術(shù)
    ? 實現(xiàn)自主測量
    水平芯片級邊緣耦合
    ? 測試結(jié)果的高準(zhǔn)確度
    ? 低耦合損耗
    ? 由于自動光纖到面對準(zhǔn)技術(shù),可重復(fù)測量結(jié)果
    ? 使用防撞技術(shù)降低損壞光纖的風(fēng)險
    ? 易于經(jīng)驗不足的用戶使用
    ? 以接近應(yīng)用的設(shè)備性能實現(xiàn)對真實世界條件的密切模擬
    晶圓級邊緣耦合
    ? 新的硬件和軟件功能的創(chuàng)新組合,用于對齊和優(yōu)化晶圓級溝槽中的光纖/陣列
    ? 以小溝槽尺寸小化耦合損耗
    ? 即使對于經(jīng)驗不足的用戶也能輕松設(shè)置
    ? 由于光纖到面間隙對準(zhǔn)技術(shù),可重復(fù)測量結(jié)果
    ? 使用防撞技術(shù)降低損壞光纖的風(fēng)險
    垂直聯(lián)軸器
    ? 垂直耦合到晶圓級光柵耦合器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
    ? 定位硬件針對探針臺進(jìn)行了準(zhǔn)確校準(zhǔn),并準(zhǔn)備在幾分鐘內(nèi)執(zhí)行芯片到芯片的光學(xué)優(yōu)化
    ? Search First Light 功能可自動確定初始位置以進(jìn)行優(yōu)化
    ? 其他集成功能:入射角校準(zhǔn)、光學(xué)旋轉(zhuǎn)掃描、光學(xué)掃描數(shù)據(jù)分析、光學(xué)跟蹤、對準(zhǔn)光學(xué)探頭
    散熱能力
    ? 黑暗、屏蔽和無霜
    ? -40°C 至 +125°C
    ? 可用的解決方案是在低溫下大限度地減少氣流對光纖/光纖陣列的影響,從而獲得穩(wěn)定且可重復(fù)的測量結(jié)果
    ? ITO 涂層 TopHat 窗口,易于設(shè)置
    ? 在多個溫度下實現(xiàn)免提自主校準(zhǔn)和重新校準(zhǔn)
    自動校準(zhǔn)
    ? 一組開創(chuàng)性的自動化功能,可對探針臺的光學(xué)定位系統(tǒng)進(jìn)行關(guān)鍵校準(zhǔn)
    ? 逐步晶圓探測高度訓(xùn)練
    ? CalVue 利用后視鏡技術(shù)在沒有外部光線的情況下查看光纖/陣列的所有方面,并實現(xiàn)實時原位自動校準(zhǔn)
    ? 多專屬校準(zhǔn)功能:電機(jī)校準(zhǔn)、z-位移校準(zhǔn)、theta 校準(zhǔn)、pzt 校準(zhǔn)、平面度校準(zhǔn)、自動樞軸點校準(zhǔn)
    經(jīng)驗證的性能
    ? FormFactor 開發(fā)的自動化測試方法
    ? 通過測量耦合功率可重復(fù)性,展示針對探針臺校準(zhǔn)的定位解決方案的全部性能
    ? 驗證 900 次測量中的耦合功率結(jié)果是否小于 0.3 dB
    ? 在每次測量之間,移動所有溶液元件,包括晶片卡盤、六足平臺和壓電平臺
    ? 展示了 FormFactor 自主硅光子測量助手的集成性能和穩(wěn)健性
    FormFactor SiPh 工具
    ? 強(qiáng)大的 FormFactor 開發(fā)的軟件包
    ? 包括用于啟用和促進(jìn)光學(xué)探測的大量工具集
    ? 通過將探針臺機(jī)器視覺功能與光學(xué)定位和測試設(shè)備集成,自動執(zhí)行手動任務(wù)
    ? 功能:測量位置培訓(xùn)、晶圓培訓(xùn)、自動對準(zhǔn)功能、校準(zhǔn)晶圓驗證、光學(xué)對準(zhǔn)驗證、子模具管理
    ? 用于捕獲、記錄和解釋數(shù)據(jù)的廣泛工具
    FormFactor 光子控制器接口 (PCI)
    ? FormFactor 開發(fā)的圖形用戶界面,用于手動控制光學(xué)定位系統(tǒng)
    ? 還可用于設(shè)置掃描參數(shù)配置和執(zhí)行初始光學(xué)對準(zhǔn)功能
    ? 校準(zhǔn)后,所有校準(zhǔn)功能都將通過 SiPh-Tools 自動執(zhí)行
    可重構(gòu)光纖臂
    ? 可在單光纖、光纖陣列和邊緣耦合支架之間進(jìn)行配置
    ? 工程和體積環(huán)境的靈活性
    ? 換光纖支架后,F(xiàn)ormFactor 的自動校準(zhǔn)程序?qū)⒆屇趲追昼妰?nèi)恢復(fù)運行
    ? 定制設(shè)計的納米精度集成 Z 位移傳感器大限度地擴(kuò)大了晶圓的可測試區(qū)域,并保證了準(zhǔn)確和可重復(fù)的數(shù)據(jù)收集


    選型指南
    產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié)
    可選功能與配件
    技術(shù)參數(shù)


    CalVue 
    ? Z 位移和光學(xué)定位的原位校準(zhǔn)
    PowerVue
    ? 功率測量高達(dá) 40 mW
    ? 啟用現(xiàn)場功率測量
    ? 單纖和光纖陣列測量面
    ProbeVue
    單光纖、光纖陣列、DC 和 RF 探頭的向上看探頭檢查功能
    從角找到初始陣列耦合偏移位置
    DieVue
    ? 單片測試
    ? 高達(dá) 25 x 25 毫米的芯片
    ? 真空保護(hù)
    ? 可定制的模座
    ? 垂直和邊緣耦合

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    詞條說明

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