Brooks自動化股份有限公司案例—— Brooks自動化和Galil團(tuán)隊成功提高了晶圓產(chǎn)量

時間：2022-09-16作者：上海銳放自控技術(shù)有限公司瀏覽：204

Brooks自動化股份有限公司案例——

Brooks自動化和Galil團(tuán)隊成功提高了晶圓產(chǎn)量

在競爭激烈且要求嚴(yán)格的硅晶圓生產(chǎn)領(lǐng)域，產(chǎn)量、精度和可靠性至關(guān)重要。

日益提高的性能規(guī)格、縮短上市時間和降低成本等相互沖突的要求在不斷擠壓半導(dǎo)體設(shè)備制造商的生存空間。因此，大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備制造商在設(shè)計他們的系統(tǒng)時都*使用Brooks自動化股份有限公司制造的機(jī)器人。反過來說，這也正是Brooks選擇了Galil運動控制器的原因，現(xiàn)已將其應(yīng)用于所交付的10,000多臺機(jī)器人。

通過整合Galil運動控制器和Brooks專屬時間優(yōu)化軌跡軟件的功能，Brooks成功將產(chǎn)量提高了33%以上。該公司的時間優(yōu)化軌跡軟件可以將Galil的S型加速度曲線與部分重疊的運動曲線相結(jié)合。如果沒有這種加速度曲線，要實現(xiàn)相同的吞吐量，就需要設(shè)置較高的速度和加速度，將會導(dǎo)致磨損加劇和壽命縮短，并較終降低可靠性。

在制造的最后階段，某些晶圓的**接近數(shù)十萬美元，因此，半導(dǎo)體行業(yè)需要的制造設(shè)備必須具有較高的可靠性和精度。而這正是Brooks所提供的。

隨著一些晶圓在其較終制造階段的**接近數(shù)十萬美元，半導(dǎo)體行業(yè)必須需要較可靠、較高精度的制造設(shè)備。為了滿足這些嚴(yán)格的要求，Brooks依靠Galil成熟的架構(gòu)和運動控制算法，在晶圓生產(chǎn)過程中始終可靠地保持精確控制。

憑借在設(shè)計、制造、特別是質(zhì)量組件方面對**的不懈追求，Brooks已發(fā)展成為半導(dǎo)體晶圓加工領(lǐng)域頗具影響力的**者，成為了美國較大的晶圓加工機(jī)器人制造商。

Brooks于2002年5月完成了對PRI自動化的收購。Brooks致力于為**半導(dǎo)體行業(yè)提供自動化解決方案。該公司所提供的硬件、工廠/器具管理軟件和專業(yè)服務(wù)，能夠管理晶圓廠中的每個晶圓、刻線以及數(shù)據(jù)的活動，幫助半導(dǎo)體制造商提高產(chǎn)量、增加利潤、降低成本，同時還能縮短產(chǎn)品的上市時間。Brooks的產(chǎn)品和服務(wù)幾乎遍布**每個晶圓廠。

Brooks已在其交付的10,000多臺晶圓加工機(jī)器人上使用了Galil運動控制器

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