GALIL運(yùn)動(dòng)控制卡應(yīng)用案例----涂膠/點(diǎn)膠機(jī)
半導(dǎo)體的制造包括從硅晶體生長(zhǎng)到最后的封裝一系列復(fù)雜的自動(dòng)化操作。一般各個(gè)部件的封裝 階段指的是圍繞一個(gè)硅摸具的兩個(gè)或更多的材質(zhì)層間的接合與粘貼。我們關(guān)心的是這些層之間的粘 性物質(zhì)的粘貼過(guò)程。
這臺(tái)工業(yè)機(jī)床應(yīng)用在芯片封裝材料的涂抹上(芯片封裝材料 —— Chip Encapsulation Material,CEM) 。當(dāng)硅模具粘貼到封裝基座之后, CEM 液體涂抹過(guò)程可以在封裝芯片之間制造一個(gè) 粘結(jié)層。液體的種類包括陶瓷粘合劑,導(dǎo)電及非導(dǎo)電環(huán)氧物質(zhì),熱接觸面材料,以及焊膏。
液體涂抹工藝需要至少兩個(gè)軸在一個(gè)坐標(biāo)系內(nèi)密切配合, *三個(gè)軸用來(lái)控制液體涂抹噴嘴的垂 直位置, *四個(gè)軸帶動(dòng)傳送帶, *五個(gè)軸控制液泵的液體流量 (圖1)。復(fù)雜的基座表面往往需要噴 嘴軸偶合成三維結(jié)構(gòu)。 較其復(fù)雜的表面可能需要多加兩個(gè)軸在另一個(gè)坐標(biāo)系中偶合, 用來(lái)完成涂抹 噴嘴軸的偏航控制。 要達(dá)到精確的液體涂抹通常需要線性插補(bǔ)及電子齒輪運(yùn)動(dòng)模式。 在這個(gè)應(yīng)用實(shí) 例中,我們將涉及到一個(gè)坐標(biāo)系,4個(gè)運(yùn)動(dòng)控制軸外加一個(gè)控制流量的軸。盡管這是一個(gè)特例,但 其中包含的信息亦可用在一般的液體涂抹應(yīng)用中。
下面給出了運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的較基本要求:
⑴. 五個(gè)軸(XYZWE)
⑵. 預(yù)定的 XY 坐標(biāo)路徑
⑶. 標(biāo)粘合劑的量總保持一致(精確流量控制)
⑷. I/O
新載物盤(pán)傳感器(數(shù)字輸入)
載物盤(pán)到位傳感器(數(shù)字輸入)
載物盤(pán)空載傳感器(數(shù)字輸入)
液位監(jiān)測(cè)(模擬輸入)
液位低報(bào)警(模擬輸出)
XYZ 軸的正/反向限位(數(shù)字輸入)
W 軸的零點(diǎn)開(kāi)關(guān) (數(shù)字輸入)
(5). 標(biāo)終端用戶界面
操作員輸入基座的深度
開(kāi)始涂抹周期
監(jiān)測(cè)周期中機(jī)床狀態(tài)
控制器: DMC-1850
因?yàn)榇?/span>應(yīng)用中需要終端用戶界面,所以需要一臺(tái)**的 PC 機(jī),加之需要對(duì) 5 軸控制,這使得 DMC-1850 PCI 總線控制器成為了較優(yōu)選擇。此外, DMC-1850 還為傳感器提供了光電隔離輸入,并 為液面監(jiān)測(cè)提供了模擬輸入。
電機(jī): BLM-N23-50-1000
為了達(dá)到免維護(hù)運(yùn)行,我們選擇無(wú)刷電機(jī)。由于晶片定位機(jī)需要不到 0.3Nm 的連續(xù)轉(zhuǎn)矩,所 以我們推薦使用 Galil 的 NEMA 23 #BLM-N23-50- 1000 無(wú)刷電機(jī)或者其他同等機(jī)。
電機(jī)上裝有一臺(tái)每轉(zhuǎn) 1000 脈沖的增量編碼器, 積分后每轉(zhuǎn)產(chǎn)生 4000 個(gè)脈沖。 由于增量編碼器為輸 入信號(hào)提供了通向放大器的交換通道,電機(jī)上不許要安裝 Hall 傳感器。
放大器: AMP-19540
為了驅(qū)動(dòng) X,Y,Z 和 W 軸電機(jī), 我們選擇了非常緊湊的 AMP- 19540 ,它是臺(tái)無(wú)刷四軸放大器(每個(gè)軸的驅(qū)動(dòng)能力為 500W)。*五軸液泵需要有一個(gè)獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)設(shè)備, 因此它通過(guò) ICM-2900 和 CB-50- 100 與控制器相連。它們用來(lái)擴(kuò)展 5-8 軸控制器上的* 5 到 8 軸。
詞條
詞條說(shuō)明
意大利GIVI光柵尺/磁柵尺應(yīng)用——折彎?rùn)C(jī)
? Givi Misure成立于1979年,生產(chǎn)玻璃/鋼帶光柵尺,磁柵尺,以及旋轉(zhuǎn)編碼器。GIVI位于意大利工業(yè)重鎮(zhèn)米蘭,并于1993年獲得米蘭科技創(chuàng)新獎(jiǎng),于1997年獲得ISO9001認(rèn)證。????GIVI一直在向**較大的折彎?rùn)C(jī)生產(chǎn)廠商提供光柵尺和磁柵尺,**過(guò)25年。 GIVI有一個(gè)專門(mén)設(shè)計(jì)的的產(chǎn)品系列,可滿足任何制造商的需求,幫助其達(dá)到較佳配
意大利GIVI光柵尺/磁柵尺應(yīng)用——傳統(tǒng)機(jī)器
? Givi Misure成立于1979年,生產(chǎn)玻璃/鋼帶光柵尺,磁柵尺,以及旋轉(zhuǎn)編碼器。GIVI位于意大利工業(yè)重鎮(zhèn)米蘭,并于1993年獲得米蘭科技創(chuàng)新獎(jiǎng),于1997年獲得ISO9001認(rèn)證。???在傳統(tǒng)的機(jī)器行業(yè)中,GIVI能夠?yàn)槎噍S的顯示和控制提供一個(gè)完整的方案。 GIVI可提供各種測(cè)量?jī)x器和一系列創(chuàng)新型多功能的數(shù)顯表,配套的通用軟件,方便操作人員進(jìn)行加
意大利GIVI光柵尺/磁柵尺應(yīng)用——木材、玻璃和大理石加工設(shè)備
????Givi Misure成立于1979年,生產(chǎn)玻璃/鋼帶光柵尺,磁柵尺,以及旋轉(zhuǎn)編碼器。GIVI位于意大利工業(yè)重鎮(zhèn)米蘭,并于1993年獲得米蘭科技創(chuàng)新獎(jiǎng),于1997年獲得ISO9001認(rèn)證。???????生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生的污垢和碎屑,可能破壞傳感器或影響測(cè)量的精度。 GIVI的各種產(chǎn)品可
1、控制各條指令執(zhí)行的順序2、生成實(shí)現(xiàn)指令要求的各種操作控制命令,控制有關(guān)部件完成指令規(guī)定的功能3、處理運(yùn)行程序過(guò)程中的異常情況,如運(yùn)算結(jié)果溢出、數(shù)據(jù)校驗(yàn)出錯(cuò)以及輸入輸出中斷請(qǐng)求等隨機(jī)操作4、向全機(jī)提供統(tǒng)一的時(shí)序控制信號(hào),協(xié)調(diào)各部件操作。[1]數(shù)據(jù)緩沖由于I/O設(shè)備的速率較低而CPU和內(nèi)存的速率卻很高,故在控制器中必須設(shè)置緩沖器。在輸出時(shí),用此緩沖器暫存由主機(jī)高速傳來(lái)的數(shù)據(jù),然后才以I/O設(shè)備所具
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