阿爾泰產(chǎn)品在無(wú)塵室環(huán)境中的應(yīng)用

        關(guān)鍵詞:數(shù)據(jù)采集模塊 DAM-3000 阿爾泰
        作者:阿爾泰
        摘要:本文簡(jiǎn)要介紹用DAM-3000 系列數(shù)據(jù)采集模塊構(gòu)成一個(gè)全面的無(wú)塵室監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的**
    
    
    概述
    
       無(wú)塵室是半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)施。不對(duì)生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行嚴(yán)格的控制將產(chǎn)生有缺陷的芯片并且浪費(fèi)寶貴的資源。對(duì)無(wú)塵室環(huán)境的監(jiān)控包括管理空氣過(guò)濾系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及監(jiān)測(cè)室內(nèi)的溫度、濕度、壓力、氣體成分和其它參數(shù)。為半導(dǎo)體制造商工作的現(xiàn)場(chǎng)工程師希望能夠連續(xù)簡(jiǎn)單地使用無(wú)塵室環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)應(yīng)該能夠收集數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,確保制造過(guò)程在可接受的參數(shù)下進(jìn)行,從而防止問(wèn)題的發(fā)生。系統(tǒng)應(yīng)該確保加工過(guò)程符合半導(dǎo)體工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) - 一個(gè)非常重要的因素。用DAM-3000 系列數(shù)據(jù)采集模塊構(gòu)成一個(gè)全面的無(wú)塵室監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的**。它們提供了一個(gè)經(jīng)濟(jì)的、易于實(shí)施的解決方案。
    
    系統(tǒng)要求
    
       半導(dǎo)體制造商需要靈活、易于使用的系統(tǒng)。操作員需要獲取和分析整個(gè)工廠的信息,這些信息通過(guò)輪流查詢?cè)儽椴脊S的遠(yuǎn)程傳感器而得到。他們想將一個(gè)新的系統(tǒng)增加到現(xiàn)有的加工過(guò)程和設(shè)備中,而不干擾或修改已經(jīng)建設(shè)好的控制系統(tǒng)。自然地,制造商想要一個(gè)低成本的解決方案,并且在理想狀況下應(yīng)該是一個(gè)總監(jiān)管系統(tǒng)。
    
    系統(tǒng)配置:
    
    產(chǎn)品型號(hào) 性能指標(biāo)
    
    DAM-3018
    
    繼電器輸出:8路A型繼電器
    
    LED指示輸出狀態(tài)
    
       DAM-3058
    
    輸入類型:V、mA
    
    輸入通道:6路差分,2路單端/8路差分
    
       DAM-3027 輸入:8路TTL電平
    
    邏輯電平0: 1V max
    
    邏輯電平1: 2.4V min
    
    輸出:8路TTL輸出
    
    阿爾泰解決方案
    
    系統(tǒng)拓?fù)鋱D
    
    我們開(kāi)發(fā)了一個(gè)基于 RS-485多點(diǎn)網(wǎng)絡(luò)的解決方案。為保護(hù)無(wú)塵室,系統(tǒng)必須有效可靠地監(jiān)視過(guò)濾器風(fēng)扇。DAM-3027 數(shù)字量輸入輸出模塊可以很好地執(zhí)行這項(xiàng)重要任務(wù)。DAM-3058 具有 8 路模擬量輸入處理能力,能夠精確地監(jiān)視空氣溫度、壓力和濕度,防止塵埃的增加。
    
    風(fēng)淋室是為工作人員進(jìn)出潔凈區(qū)所設(shè)置的**通道,可以有效的降低外部人員進(jìn)入潔凈區(qū)所帶來(lái)的污染問(wèn)題,并同時(shí)起到氣閘室密閉潔凈室的作用。風(fēng)淋室通用性強(qiáng),可與所有的潔凈室與潔凈廠房配套使用。使用DAM-3026模塊來(lái)控制風(fēng)淋室和貨料進(jìn)入的門(mén)禁系統(tǒng),防止外來(lái)人員的入內(nèi),增加無(wú)塵室的塵埃,影響生產(chǎn)。DAM-3018來(lái)控制鼓風(fēng)機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn),一般的風(fēng)淋室的風(fēng)速要達(dá)到20m/s左右,普通的風(fēng)扇達(dá)不到這種要求,所以需要風(fēng)機(jī)來(lái)操作。

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