真空泵維護(hù)與保養(yǎng):
1.泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔,防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。
2.泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過程中,油箱內(nèi)的存油量不得**油標(biāo)中心。
3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。
4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進(jìn)氣口突然暴露大氣時,應(yīng)盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場地。
5.泵由于存放或使用不當(dāng),水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)而影響極限真空時,可開氣鎮(zhèn)閥凈化之。當(dāng)泵油受到機(jī)械雜質(zhì)或化學(xué)雜質(zhì)污染時,應(yīng)換泵油二換油步驟如下:先開泵運(yùn)轉(zhuǎn)約半小時,使油變稀,停泵!旋下放油塞,放出臟油,再敞開進(jìn)氣口運(yùn)轉(zhuǎn)1-2分鐘,此間可從進(jìn)氣口緩緩加入小量清潔的真空泵油,沖洗泵芯。臟油放回后,將放油塞旋上,并擰緊:旋下加油塞,利用漏斗,從加油口加入清潔的真空泵油,旋上加油塞。
6.泵不用時,應(yīng)用橡皮塞帽,把進(jìn)、排氣口塞好。以免臟物落入泵內(nèi)。
7.倘若泵在工作過程中被污染,則須進(jìn)行拆洗。這項(xiàng)工作需要慎重。注意拆裝步驟,以免損壞機(jī)件。
詞條
詞條說明
普旭真空泵排除方法:?????(1)如泵的轉(zhuǎn)速不夠,且抽氣量是與泵的轉(zhuǎn)速成正比,則泵的抽氣量就會下降。這有兩種情況;一種情況是泵的轉(zhuǎn)速未配備好,也就是皮帶輪的直徑不合適,可換皮帶輪,改變皮帶輪的直徑;另一種情況可能是皮帶安裝不當(dāng)、未張緊,皮帶打滑而降低了轉(zhuǎn)速,這可調(diào)節(jié)電機(jī)位置,使皮帶張到一定緊度。????&n
真空系統(tǒng)常用名稱①主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。②前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強(qiáng)**其臨界前級壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。③粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵。性能參數(shù)編輯參數(shù)名稱 參數(shù)定義真空泵的極限壓強(qiáng) 泵的極限壓強(qiáng)單位是
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵的兩個旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大,氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間
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