【大流量真空泵】真空泵的分類



    按性能特點和用途分類


    (1)低真空泵


    泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。


    (2)中真空泵


    極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機械真空泵等。


    (3)高真空泵


    極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴散泵及分子泵等。


    (4)**高真空泵


    極限壓力**10-5Pa的真空泵屬于**高真空泵。**高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。



    按工作原理和結(jié)構(gòu)特點分類


    (1)機械式容積真空泵


    靠機械運動使泵腔工作容積周期變化來實現(xiàn)抽氣作用的是機核式容積真空泵。屬于這類泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類泵中除機械增壓泵外,一般均可單獨使用。


    (2)射流式真空泵


    沒**械運動部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。這類泵結(jié)構(gòu)簡單,工作可靠,壽命長,易于維修,應(yīng)用比較普遍。


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