真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?
1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。
極限真空度是指器件在無漏放氣時所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣,如果工作真空度差,則可能出現(xiàn)電極被氧化及陰極激活欠佳的結(jié)果。但器件后封離時已基本上無漏放氣,器件內(nèi)的真空度就取決于排氣真空系統(tǒng)的極限真空度。
2、為獲得某一工作真空度所需的時間
這時間決定于真空系統(tǒng)抽速的大小。提高抽速可縮短這一時間。大的工作室顯然需要大的抽速。有時工作室雖然不大,但由于漏放氣嚴(yán)重,則真空系統(tǒng)也需要大的抽速,否則大量的漏放氣將大大降低真空度,使系統(tǒng)無法工作。
3、在被抽器件或工作室內(nèi)有合適的殘氣成分
實(shí)踐證明,單純提高和保證極限真空度及工作真空度是不夠的,還應(yīng)對殘余氣體成分有一定的要求。例如真空攝像器件,為了保持在一年壽命期內(nèi)靈敏度的降低不大于巧,要求器件內(nèi)的殘余氣體的含氧量應(yīng)不**10-2Pa 耐高壓的真空開關(guān)管內(nèi),應(yīng)不含有碳?xì)浠衔锓肿拥鹊?。真空系統(tǒng)的殘氣成分,如系統(tǒng)中無其它氣源,則主要取決于泵的特性。
4、真空系統(tǒng)還必須結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠、操作維護(hù)方便、價格*等
要滿足這些要求,必須從泵的選擇、管道尺寸的確定及布置、裝配工藝等多方面綜合考慮。上述這些基本要求經(jīng)常是相互聯(lián)系的。例如,由于真空系統(tǒng)總不免存在有微漏現(xiàn)象,故采用抽速大的泵比抽速小的泵能獲得較好的工作真空度,但大的泵價格貴,耗水、耗電多,故有合理選擇的問題。儀器和小型的真空系統(tǒng)宜選用微型真空泵,成本低、效率高、噪音小,有的用戶選用流量較大的工業(yè)真空泵是不合適的。
5、自動化要求
隨著計算機(jī)技術(shù)的發(fā)展,用戶對真空系統(tǒng)的自動化要求也不斷提升。對于真空系統(tǒng),自動控制主要是對真空泵流量和真空度的調(diào)節(jié)。真空度常常通過調(diào)節(jié)真空泵流量、安裝節(jié)流閥、泄壓閥來控制。用節(jié)流的辦法能量損失大、產(chǎn)生額外噪音,好是直接調(diào)節(jié)真空泵的轉(zhuǎn)速。工業(yè)真空泵調(diào)速的方法有多種,主要分為兩類:第一類是電機(jī)轉(zhuǎn)速不變,通過附加裝置改變真空泵的轉(zhuǎn)速,如變速箱調(diào)速,第二類是直接改變電機(jī)的轉(zhuǎn)速,如可控硅串級調(diào)速、變頻調(diào)速等。目前工業(yè)真空泵常用的方法是變頻調(diào)速,節(jié)能效果好,可實(shí)現(xiàn)無級調(diào)速,調(diào)速比大,調(diào)速精確,速度平穩(wěn)。
對于適用于小型真空系統(tǒng)的微型真空泵,過去主要采用降壓調(diào)速,降壓運(yùn)行附帶的好處是有利于延長泵和電機(jī)壽命。如果泵的負(fù)載較大時,降壓后*造成電機(jī)無法啟動,使電機(jī)溫度上升,產(chǎn)生安全隱患。目前**的國產(chǎn)“氣海”調(diào)速微型真空泵配置了進(jìn)口無直流電機(jī),自帶PWM(脈寬調(diào)制)線,能方便可靠地調(diào)節(jié)流量,能輸出電機(jī)轉(zhuǎn)速反饋信號(FG),能實(shí)時監(jiān)控電機(jī)工況,便于自動控制。還具有完善的自我保護(hù)功能,在泵卡死、過熱等意外情況下能自動停機(jī)。調(diào)速微型真空泵是小型真空系統(tǒng)自動化的理想之選。
總的說來,對于氣密性較好的真空系統(tǒng),如果沒有經(jīng)常性的放氣,內(nèi)部也沒有蒸氣源,則可采用較小的、極限真空度較好的泵。但是,如果系統(tǒng)的漏放氣較多,則必須用提高抽速的辦法來保證其工作真空度,這時應(yīng)采用較大抽速的泵,并盡可能增大管道流導(dǎo)
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真空泵溫度高的原因,真空泵電機(jī)溫度高的原因?以下是對真空泵電機(jī)溫度高的原因分析:?1原因分析?(1)電機(jī)功率大,工作電流大,發(fā)熱量大。?(2)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低,風(fēng)壓,風(fēng)量小。?(3)風(fēng)扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風(fēng)量小。?(4)電動機(jī)附有灰塵、油污,降低了散熱能力。?(5)真空泵電機(jī)所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均,電機(jī)實(shí)際
真空泵的選型1、s先應(yīng)該充分了解被抽氣體成分。如氣體中含不含可凝蒸氣、有無顆?;覊m、有無腐蝕性、爆炸性等;如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等;如抽取氣體還有腐蝕性,則須選用材質(zhì);若抽取的氣體具有爆炸性,則應(yīng)該選擇水環(huán)式真空泵并且配防爆電機(jī),因?yàn)樗h(huán)式真空泵整個工作過程是等溫的。2、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,如果環(huán)境不允許有
【旋片真空泵配件】氣鎮(zhèn)閥作用旋片真空泵氣鎮(zhèn)閥是在排氣發(fā)生之前向泵的排氣腔充入一定量空氣,以降低排氣壓力中的蒸汽分壓力,當(dāng)它**泵溫下的飽和蒸汽壓時,即可隨充入氣體排出泵外,而避免凝結(jié)在泵油中。另外,當(dāng)密閉泵口運(yùn)轉(zhuǎn)時,已混入油內(nèi)的可凝性氣體的凝結(jié)物或氣相就會溶于油中的物質(zhì),又會在泵腔內(nèi)從油中逸出,這時如果開氣鎮(zhèn)工作,也可抽除一定量的可凝性物質(zhì),從而起到一定凈化作用,延長泵油的使用期。在結(jié)構(gòu)上,氣鎮(zhèn)閥
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,**出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會產(chǎn)生真空,需換葉片。
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