旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。 旋片真空泵的工作原理圖是怎樣的? 旋片真空泵的工作原理: 旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉(zhuǎn)時,靠離心力和彈簧的張力使旋片與泵腔的內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿旋片真空泵腔內(nèi)壁滑動。兩個旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹),氣體壓強(qiáng)降低,旋片真空泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時,即轉(zhuǎn)至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體**過排氣壓強(qiáng)時,排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由旋片真空泵的連續(xù)運轉(zhuǎn),達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級),由低真空級抽走,再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中,即組成了雙級旋片真空泵。這時總的壓縮比由兩級來負(fù)擔(dān),因而提高了極限真空度。
詞條
詞條說明
按性能特點和用途分類(1)低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。(3)高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵的兩個旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大,氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間
【XD旋片真空泵】抽氣真空泵適用范圍1、XD旋片真空泵是用以抽除特定密封容器內(nèi)的氣體,使該容器獲得一定真空度的基本設(shè)備。2、旋片真空泵不適用于抽除含氧量過高的、有毒的、有爆炸性的浸蝕黑色金屬的和對真空油起化學(xué)作用的各種氣體,也不可作為壓縮機(jī)和輸送泵使用。3、真空泵一般在5-40℃的室溫及不**90%的相對濕度的環(huán)境內(nèi)使用。
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