上海伯東 HVA 真空插板閥應(yīng)用于半導(dǎo)體管道中

時(shí)間：2023-05-23作者：伯東企業(yè)（上海）有限公司瀏覽：28

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美國(guó) HVA 真空插板閥在半導(dǎo)體管道中的應(yīng)用
半導(dǎo)體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(tǒng) ( 真空管路 ) 的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 上海伯東美國(guó) HVA 插板閥廣泛用于高真空或**高真空的氣體輸送環(huán)節(jié), 用來改變氣流方向, 調(diào)節(jié)氣流量大小, 切斷或接通管路, 起到真空隔離密封等作用. 美國(guó) HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路中! 上海伯東是美國(guó) HVA 插板閥在中國(guó)地區(qū)一總代理商.

                                 半導(dǎo)體管道插板閥應(yīng)用示意圖                                                                       現(xiàn)場(chǎng)圖


上海伯東美國(guó) HVA 插板閥優(yōu)勢(shì)
1. 滿足高真空（1E10-9  mabr）和**高真空（1E10-10 mbar）應(yīng)用
2. HVA 插板閥口徑 DN 16 至 800 mm
3. 堅(jiān)固耐用, **長(zhǎng)使用壽命, 可達(dá) 1,000,000 啟動(dòng)次數(shù)
4. 清潔和高密封性保證 HVA 插板閥與前級(jí)泵, 渦輪分子泵等**聯(lián)用
5. 雙向密封,小漏率 < 2x10-9  mbar l/S
6. 可選擇驅(qū)動(dòng)方式多, 手, 氣,電動(dòng)可選
7. 有效保護(hù)分子泵. 氣動(dòng)和電動(dòng)插板閥均帶信號(hào)反饋裝置, 與分子泵和腔體連用時(shí)可以起到截?cái)嘁恍┨厥鈿怏w, 保護(hù)分子泵的作用
8. 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用
9. **標(biāo)準(zhǔn), 插板閥整機(jī)美國(guó)設(shè)計(jì), 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口

美國(guó) HVA **過 40年的閥門研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn), 與友廠對(duì)比, HVA 插板閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 了虛漏的可能.

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• 詞條

  詞條說明

• HVA 真空閥門應(yīng)用于E-Beam 鍍膜機(jī)

  某品牌?Sputtering + E-Beam PVD?鍍膜機(jī)系統(tǒng)采用?HVA?真空閥門?11000, HVA?真空閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時(shí)外系統(tǒng)停機(jī)時(shí)不破壞系統(tǒng)真空,?只要對(duì)泵內(nèi)部進(jìn)行破真空即可.E-Beam?鍍膜機(jī)設(shè)備組成:?系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室,?電子,?進(jìn)樣室 

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• 上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)分子泵維修保養(yǎng)服務(wù)

  上海伯東是德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 授權(quán)銷售維修中心, 自 2002年以來, 已累計(jì)為過 100, 000+ 家企業(yè)提供維修保養(yǎng)服務(wù), 客戶遍布工業(yè), 科研, 鍍膜和半導(dǎo)體行業(yè), 維修中心使用 100 ％ Pfeiffer 原廠部件和原裝進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備對(duì)維修產(chǎn)品做全方面的性能測(cè)試, 上海伯東擁有完全的拆解, 維修能力, 提供快速, 高質(zhì)量的維修保養(yǎng)服務(wù).?伯東公司在上海,?臺(tái)

• KRI 離子源用于離子束拋光機(jī)

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