當(dāng)為工藝選擇真空泵時(shí),工藝室和泵之間的泵送管道可能與泵的選擇一樣重要。為了獲得高泵送速率,需要直的泵送管(短長(zhǎng)度)和直徑盡可能大的管。真空腔
看似簡(jiǎn)單,但這里要考慮的因素很多。其實(shí)如果從物理角度考慮,就能明確哪些是關(guān)鍵因素。真空腔
在穩(wěn)態(tài)條件下,如果泵送管道中沒有氣源(泄漏)或氣體減少(凝結(jié)),泵送管道任意截面的質(zhì)量流量相同。簡(jiǎn)單地說(shuō),進(jìn)入處理室的氣體被抽出。
在某種程度上,短粗的管道是好的。
使用短且大直徑的泵送管道來(lái)盡可能地提高管道傳導(dǎo)率是一種良好的做法,但僅當(dāng)泵送速度S接近泵送速度(Sp)的值時(shí)。
另外,通過(guò)增加管徑來(lái)增加電導(dǎo)(成本也會(huì)相應(yīng)增加)并不能顯著提高工藝室的抽氣速率;換句話說(shuō),如果泵送管道的電導(dǎo)是有限的,并且由于物理因素而不能增加,當(dāng)(S)接近管道電導(dǎo)(C)的值時(shí),通過(guò)增加應(yīng)用泵速來(lái)增加工藝泵速是不經(jīng)濟(jì)的。
那么答案是什么呢?
管道應(yīng)盡可能短。
所用管道的直徑至少等于泵入口法蘭的直徑。
盡量減少?gòu)濐^數(shù)量。
考慮到管道傳導(dǎo)率(C)和泵速(Sp)的應(yīng)用,一個(gè)變量比另一個(gè)變量大三或四倍是不經(jīng)濟(jì)的。實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)
詞條
詞條說(shuō)明
真空閥門的具體作用有哪些?實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)廠家?guī)懔私猓? 1、切換氣路,當(dāng)閥門1和閥門4關(guān)閉,閥門2打開時(shí),機(jī)械真空泵Ⅲ抽空容器Ⅰ,氣流流經(jīng)預(yù)抽真空管路; 當(dāng)閥門2關(guān)閉,閥門4打開時(shí),機(jī)械泵可以和擴(kuò)散泵分別抽真空; 當(dāng)閥門1和閥門4同時(shí)打開時(shí),擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可以同時(shí)工作以抽空容器,此時(shí)氣流流過(guò)擴(kuò)散泵。 可見,閥門在本次操作中的作用是切換氣路,改變氣流的流路。? 2、控制空氣流量
真空探針臺(tái)在未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)?
淺析真空探針臺(tái)在未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)?真空探針臺(tái)是一種在真空環(huán)境中進(jìn)行材料表征和加工的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于納 米科學(xué)領(lǐng)域以及半導(dǎo)體、光電等相關(guān)行業(yè)。隨著科技的不斷發(fā)展,真空探針臺(tái)在未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)和挑戰(zhàn)也逐漸凸顯出來(lái)。,隨著納米科學(xué)和納米技術(shù)的不斷深入研究,對(duì)真空探針臺(tái)的要求也越來(lái)越高。未來(lái)真空探針臺(tái)需要具備高的精度、廣泛的應(yīng)用范圍以及復(fù)雜的功能。比如,開發(fā)出加靈活多樣的探,以滿足不同材料表征和加工
真空探針臺(tái)能否應(yīng)對(duì)高溫和低溫環(huán)境?
真空探針臺(tái)是一種用于材料表征和電子器件測(cè)試的儀器設(shè)備,在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用。它通常由真空室、探針臺(tái)以及各種測(cè)試設(shè)備和儀器組成。在許多實(shí)驗(yàn)和測(cè)試中,需要在高溫或低溫環(huán)境下對(duì)材料和器件進(jìn)行性能測(cè)試和分析。對(duì)于傳統(tǒng)的真空探針臺(tái)而言,它們往往不能處理端的溫度情況,高溫和低溫環(huán)境對(duì)這些設(shè)備來(lái)說(shuō)都是一種挑戰(zhàn)。因此,在早期的研究和測(cè)試中,高溫和低溫條件下的性能測(cè)試相對(duì)較為困難。然而,隨著科學(xué)技術(shù)的
真空探針臺(tái)真空球閥有哪些保護(hù)措施?一、使用前,應(yīng)用水清洗管道和閥體過(guò)流部分,以防殘留鐵屑和其它雜物進(jìn)入閥體內(nèi)腔。二、球閥在關(guān)閉狀態(tài)下,閥體內(nèi)仍然殘留部分介質(zhì),也承受著壓力。在檢修球閥之前,要先關(guān)閉球閥前的切斷閥,打開需要檢修的球閥,釋放閥體內(nèi)部壓力。如果是電動(dòng)球閥或氣動(dòng)球閥,則應(yīng)該先斷開電源和氣源。真空探針臺(tái)三、一般軟密封球閥均使用四氟(PTFE)作為密封材料,真空閥門硬密封球閥密封面為金屬堆焊而
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