福州大學離子束刻蝕機順利驗收

時間：2024-11-14

作者：那諾-馬斯特中國有限公司

烈日炎炎，熱情滿心間！后疫情時代，NANO-MASTER工程師步履不停，一站接一站為客戶提供設備安裝調(diào)試服務。首站福州大學，那諾-馬斯特工程師已順利安裝驗收NIE-3500型離子束刻蝕機！

性能配置：

離子束刻蝕機用于刻蝕金屬和介質(zhì)，z大可支持6”晶圓。

配套美國考夫曼-羅賓遜 KDC160離子槍，650mA，100-1200V?？涛g速率：~250A/min對Au；刻蝕均勻度：對4”片，片內(nèi)均勻性**±3%，重復性**±3%。

樣品臺可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-30RPM精確可控；可任意角度傾斜，支持斜齒刻蝕；帶水冷功能，刻蝕后易去除光刻膠。

極限真空12小時可達6x10-7Torr，15分鐘可達10-6Torr量級的真空；采用雙真空計，長期可靠，使用穩(wěn)定。

14”不銹鋼立方腔體，配套一臺主控計算機，20”觸摸屏監(jiān)控，配合Labview軟件，實現(xiàn)計算機全自動工藝控制，并可在電源中斷情況下安全恢復；完全的安全聯(lián)鎖；支持百級**凈間使用。

驗收培訓：

安裝調(diào)試視頻：

詞條
詞條說明
福州大學離子束刻蝕機順利驗收
烈日炎炎，熱情滿心間！后疫情時代，NANO-MASTER工程師步履不停，一站接一站為客戶提供設備安裝調(diào)試服務。首站福州大學，那諾-馬斯特工程師已順利安裝驗收NIE-3500型離子束刻蝕機！性能配置：離子束刻蝕機用于刻蝕金屬和介質(zhì)，z大可支持6”晶圓。配套美國考夫曼-羅賓遜 KDC160離子槍，650mA，100-1200V?？涛g速率：~250A/min對Au；刻蝕均勻度：對4”片，片內(nèi)均勻性**±
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