振動標(biāo)準(zhǔn)，隔震等級，VC曲線

時間：2023-10-19作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：427

VC標(biāo)準(zhǔn)曲線（VC振動標(biāo)準(zhǔn)）由Eric Ungar和Colin Gordon于20世紀(jì)80年代初開發(fā)。它們較初是作為半導(dǎo)體、醫(yī)療和生物制藥行業(yè)振動敏感設(shè)備的通用振動標(biāo)準(zhǔn)而開發(fā)的，但現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于各種技術(shù)領(lǐng)域。VC振動標(biāo)準(zhǔn)采用了一組三分之一倍頻程頻帶速度譜的形式，以及**標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）關(guān)于振動對建筑物內(nèi)人員影響的指導(dǎo)方針。該標(biāo)準(zhǔn)適用于在垂直和兩個水平方向測量的振動。對于某種用于安裝精密設(shè)備或儀器的地基，所測得的三分之一倍頻程速度譜曲線的所有頻率點必須落在振動等級(VC)曲線對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)曲線之下。

NIST-A標(biāo)準(zhǔn)是為計量學(xué)而開發(fā)的，但在納米技術(shù)界很受歡迎。在一些低頻振動明顯的場所，NIST-A標(biāo)準(zhǔn)很難達(dá)到。現(xiàn)在，VC標(biāo)準(zhǔn)曲線已被全世界廣泛接受，可作為設(shè)計設(shè)施的基礎(chǔ)，以滿足一組對振動高度敏感的設(shè)備在一起使用時的要求。但實際上，VC-F之后的隔振等級VC曲線都不建議用作設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。密歇根大學(xué)**低振動實驗室（ULVL）于2014年竣工。建成后，對**低振動實驗室箱體進(jìn)行了振動調(diào)查。測量結(jié)果表明，即使只有一輛車在附近的街道上行駛，振動也**過了**低振動實驗室所需的NIST-A規(guī)格。對于振動標(biāo)準(zhǔn)VC-M而言，目**般認(rèn)為：VC-M是可測得的較低值，但現(xiàn)今還無法在此標(biāo)準(zhǔn)下進(jìn)行準(zhǔn)確的振動測量，因為現(xiàn)今較敏感的傳感器也因為傳感器的內(nèi)部噪聲而降低了靈敏度，無法達(dá)到VC-M振動等級的測量基準(zhǔn)。

主動隔震臺一般能將隔震等級提升一級，例如使用KNS的主動隔震臺后，VC-B提升到VC-C?，F(xiàn)如今，大部分的隔振臺的隔震等級都是VC-A、VC-B、VC-C，少數(shù)的主動隔振臺能到達(dá)VC-D的隔震效果。

K&S ArisMD振動標(biāo)準(zhǔn)可達(dá)VC-D，適用于電子顯微鏡（TEM和SEM），重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊的桌面主動隔振系統(tǒng)，可抵消敏感設(shè)備的有害振動，降幅可達(dá)80%-90%。流線型設(shè)計使其能夠無縫地成為工作站環(huán)境的一部分，并且其簡單的組成不需要后續(xù)的調(diào)整。主動隔離范圍0.5-100Hz，1Hz時增益~8db，2Hz時增益~20db。





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