HVA 真空閥門(mén)應(yīng)用于E-Beam鍍膜機(jī)

時(shí)間：2024-01-11

某 Sputtering + E-Beam PVD 鍍膜機(jī)系統(tǒng)采用 HVA 真空閥門(mén) 11000, HVA 真空閥門(mén)安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時(shí)外系統(tǒng)停機(jī)時(shí)不破壞系統(tǒng)真空, 只要對(duì)泵內(nèi)部進(jìn)行破真空即可.

HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格:

閥門(mén)材質(zhì):
- 閥門(mén)主體	304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封	AM - 350
閥門(mén)密封方式
- 高真空	氟橡膠
- 高真空	銅墊圈 / 氟橡膠
真空:
- 壓力范圍	高真空 1x10-9 mbar, 高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9 mbar l/S
- 差壓關(guān)閉	1 bar ( 任意位置 )
- 開(kāi)啟前大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 彈性體密封閥蓋	150°C
- 金屬密封閥蓋	-開(kāi)啟溫度：200°C -關(guān)閉值：150°C
- 驅(qū)動(dòng)方式	手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
機(jī)制
手動(dòng)：	手搖曲柄
電磁閥供電電壓	120 VAC 50 /60 Hz
電磁閥可選電壓	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
電磁閥位置指示器,大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
氣動(dòng)送風(fēng)：	80 psig
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
公稱(chēng)通徑: DN 16 - 800 mm

E-Beam 鍍膜機(jī)設(shè)備組成: 系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室, 電子, 進(jìn)樣室 (可選) , 旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái), 工作氣路, 抽氣系統(tǒng), 真空測(cè)量, 電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成.

基片在做實(shí)驗(yàn)般需要做鍍前預(yù)處理, 鍍前預(yù)處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面, 為后獲得高質(zhì)量鍍層作準(zhǔn)備, 要進(jìn)行脫脂, 去銹蝕, 去灰塵等工作, 也有客戶在 LOADLOCK 腔進(jìn)行射頻反應(yīng)清洗, 通過(guò)使用上海伯東 KRI 離子源將基片的表層打掉, 得到光滑和均勻的表面.

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上海伯東 : 羅女士

詞條
詞條說(shuō)明
HVA 真空閥門(mén)71000系列, 適用于苛刻的真空環(huán)境, 易于維護(hù)
說(shuō)到真空閥門(mén), HVA 是繞不開(kāi)的, HVA 真空閥門(mén)是行業(yè)的者. HVA真空閥門(mén)包含HVA 真空矩形閥、HVA 真空閘閥, 真空插板閥、HVA 真空角閥等.?在 HVA 真空閥門(mén)中 71000 系列閥門(mén), 憑借其在 HVA 閥門(mén)中廣為人知的性和性, 使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù).?HVA?真空閥門(mén)?71000 系列由堅(jiān)固的不繡
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? ? 紅外光學(xué)薄膜器件作為紅外系統(tǒng)重要組成部分,?已廣泛應(yīng)用于航空航天、、環(huán)保、分析儀器等各個(gè)領(lǐng)域.?在紅外光學(xué)應(yīng)用中,?由于鍺在2～14μm紅外波段內(nèi)有高而均勻的透過(guò)率,?是一種的優(yōu)良紅外光學(xué)材料.?鍺單晶切片加工成的鍺透鏡及鍺窗和利用鍺單晶透過(guò)紅外波長(zhǎng)特性制成的各種紅外光學(xué)部件廣泛用于各類(lèi)紅外光學(xué)系統(tǒng).?&nbs
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