天門市高純水**碳含量測試 水質(zhì)

    電子級高純水 總**碳含量

    5.2普通高純水

    5.2.1普通高純水主要考核其電阻率。

    5.2.2普通高純水的技術(shù)指標(biāo)由表2給出。

    表2

    指 標(biāo) 級 標(biāo)

    PH-Ⅰ PH-Ⅱ PH-Ⅲ

    電阻率(25℃),MΩ,cm 12-15 8 lt;12 5 lt;8

    大于lμm的微粒數(shù),個/mL <50

    總**碳含量,μg/L <500

    全硅,μg/L <100

    6測試方法和規(guī)則

    6.1電阻率測試方法

    6.1.1用電導(dǎo)率儀測量高純水電阻率時:

    a.電導(dǎo)池常數(shù)選川0.1—0.25px-1;

    b.被測高純水應(yīng)處于密封流動狀態(tài),避免任何氣體混入,流速不**0.3m/s。

    6.1.2在t℃時測得的電阻率值ρt,用下式換算成25℃的電阻率ρ25

    ρ25=1/{αt(1/ρt-Gt)+0.05482}

    式中:ρ25——25℃時的電阻率MΩ.CM

    ρt——t℃時的電阻率MΩ.CM

    Gt——t℃時理論純水的電導(dǎo)率μS/CM,其值見附錄A;

    αt——t℃時修正系數(shù),其值見附錄A;

    0.05482——t℃時理論純水的電導(dǎo)率μS/CM。

    6.2其他技術(shù)指標(biāo)測量方法

    執(zhí)行GB11446.5~11446.11中有關(guān)規(guī)定。


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