切割機(jī)7134_ADT 衡鵬供應(yīng)

時間：2021-03-01作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：30

切割機(jī)7134_ADT 衡鵬供應(yīng)

切割機(jī)7134擁有 4" 高功率空氣軸承主軸，30krpm時較高2.5KW。直流無刷電機(jī)，閉環(huán)速度控制。覆蓋較高 12" 的圓形產(chǎn)品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤（不帶框架）。
系統(tǒng)配有閉環(huán)轉(zhuǎn)向臺，針對多角度切割進(jìn)行優(yōu)化，適用各種產(chǎn)品，例如：
·陶瓷基板
·氧化鋁
·混合物
·厚膜設(shè)備等

ADT切割機(jī)7134系統(tǒng)規(guī)格：
大面積系統(tǒng)配置：較高300mm x 300mm
刀片尺寸：4"-5"
主軸：空氣軸承，直流無刷，30 krpm/2.5 kW
分度軸（y）
驅(qū)動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)
控制：線性編碼器
分辨率：0.2 μm
累積精度：1.5 μm
分度精度：1.0 μm
傳送軸（X）
氣動滑塊
驅(qū)動裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無刷電機(jī)
傳送速度：高達(dá) 600 mm/sec
切割深度軸（z）
驅(qū)動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)
分辨率：0.2 μm
精度：2.0 μm
重復(fù)精度：1.0 μm
行程：50 mm
旋轉(zhuǎn)編碼器
Z線性編碼器 - 可選件
Z間隙高達(dá)3" - 可選
旋轉(zhuǎn)軸
驅(qū)動：閉環(huán)、直接驅(qū)動、直流無刷
精度：4 arc-sec
重復(fù)精度：4 arc-sec
行程：350度

7134的視覺系統(tǒng)
數(shù)碼攝像頭、Fire-Wire技術(shù)、高亮LED照明（直射和斜射）
x55-x210或x35-x140（可選）連續(xù)數(shù)字變焦。

7134設(shè)施參數(shù)
電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相
氣源：260 L/min @ 5.5bar
主軸冷卻水：1.1 L/min廠務(wù)端用水
切割用水：較高3L/min
尺寸（WXDXH）
965×1300×1600 mm
重量：900 kg



了解更多/wafer_dicer/ADT_7134.htm



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