（減薄前）晶圓貼膜機(jī)STK-620 衡鵬供應(yīng)

時(shí)間：2021-04-26作者：上海衡鵬能源科技有限公司瀏覽：127

（減薄前）晶圓貼膜機(jī)STK-620 衡鵬供應(yīng)




晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-620規(guī)格：
晶圓尺寸：4”&5”&6”&8”晶圓；
晶圓厚度：300~750 微米；
晶圓種類：硅, 砷化鎵或其它；
                單平邊,雙平邊,V 型缺口；
膠膜種類：藍(lán)膜或者 UV 膜；
                寬度：120~240 毫米；
                長度：100 米；
                厚度：0.05~0.2 毫米；
貼膜原理：防靜電滾輪貼膜；
貼膜動(dòng)作：自動(dòng)拉膜和貼膜；
晶圓臺(tái)盤：通用(一體式)特氟隆防靜電涂層接觸式臺(tái)盤；或硅膠臺(tái)盤，或陶瓷臺(tái)盤；
裝卸方式：晶圓手動(dòng)放置與取出；
防靜電控制：防靜電特氟隆涂層晶圓臺(tái)盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器；
切割系統(tǒng)：*特的手動(dòng)可調(diào)整環(huán)形切刀適用于不同的晶圓外形，刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu)無任何飛邊，并省去修邊。
                *特的手動(dòng)直切刀設(shè)計(jì)，為世界較省膜的設(shè)計(jì)；切割刀溫度：較高達(dá) 150℃；
晶圓定位：通用標(biāo)線/彈簧銷釘；
控制單元：基于 PLC 控制，并帶 5.7”觸摸屏；
安全防護(hù)：配置緊急停機(jī)按鈕；
電源電壓：相交流電 220V,10A； 
壓縮空氣：5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2 立方英尺；
機(jī)器外殼：白色噴塑金屬外殼；
體積：560 毫米(寬)*880 毫米(深)*500 毫米(高)； 
凈重：80 公斤；


晶圓減薄前貼膜機(jī)性能：
晶圓收益：≥99.9%；
貼膜質(zhì)量：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
每小時(shí)產(chǎn)能：≥ 80 片晶圓；
更換產(chǎn)品時(shí)間：≤ 5 分鐘。


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