【掩膜版】“掩膜”是什么？

時(shí)間：2021-05-29作者：北京華諾恒宇光能科技有限公司瀏覽：1136

光掩膜(mask)資料:

在半導(dǎo)體制造的整個(gè)流程中，其中一部分就是從版圖到wafer制造中間的一個(gè)過程，即光掩膜或稱光罩(mask)制造。這一部分是流程銜接的關(guān)鍵部分，是流程中造價(jià)較高的一部分，也是限制較小線寬的瓶頸之一。

光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外，還廣泛的應(yīng)用與像LCD，PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種，鉻版(chrome)、干版，凸版、液體凸版。主要分兩個(gè)組成部分，基板和不透光材料?；逋ǔＪ歉呒兌龋头瓷渎?，低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍?cè)诓Ａ路胶窦s0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小，雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠，硬度小且易吸附灰塵，不過干版還有包膜和**微顆粒干版，其中后者可以應(yīng)用于芯片制造。(順便提一下，通常講的菲林即film，底片或膠片的意思，感光為微小晶體顆粒)。

在刻畫時(shí)，采用步進(jìn)機(jī)刻畫(stepper)，其中有電子束和激光之分，激光束直接在涂有鉻層的4-9“ 玻璃板上刻畫，邊緣起點(diǎn)5mm，與電子束相比，其弧形較逼真，線寬與間距較小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有稱為中間掩膜，reticle作為單位譯為光柵)，用步進(jìn)機(jī)重復(fù)將比例縮小到master maks上，應(yīng)用到實(shí)際曝光中的為工作掩膜(working mask)，工作掩膜由master mask復(fù)制過來。


北京華諾恒宇光能科技有限公司專注于金屬mask蒸鍍罩,掩膜板,壓縮機(jī)閥片等

• 詞條

  詞條說明

• 【墊片墊圈】墊片安裝要求

  墊片安裝要求1、密封墊片與法蘭密封面應(yīng)清洗干凈，不得有任何影響連接密封性能的劃痕、斑點(diǎn)等缺陷存在。2、密封墊片外徑應(yīng)比法蘭密封面外小，密封墊片內(nèi)徑應(yīng)比管道內(nèi)徑稍大，兩內(nèi)徑的差一般取密封墊片厚度的2倍，以保證壓緊后，密封墊片內(nèi)緣不致伸入容器或管道內(nèi)，以免妨礙容器或管道中流體的流動(dòng)。3、密封墊片預(yù)緊力不應(yīng)**過設(shè)計(jì)規(guī)定，以免密封墊片過度壓縮喪失回彈能力。4、 密封墊片壓緊時(shí)，較好使用扭矩扳手。對(duì)大型螺栓

• 空壓機(jī)閥片早期損壞、機(jī)身振動(dòng)是何原因

  空壓機(jī)閥片早期損壞原因分析和如何排除：1.閥片制造材料及熱處理或加工不符要求；2.密封面損壞，升程大；3.吸入夾雜物；4.閥間混入冷凝水或多量的潤(rùn)滑油；5.閥導(dǎo)向面磨損引起閥片異常工作?？諌簷C(jī)閥片早期損壞排除方法：1.調(diào)換符合要求的閥片；2.研磨閥片、閥座或換新的；3.清洗吸氣管道；4、排除冷凝水及防止過多的潤(rùn)滑油進(jìn)入氣閥。5、換閥座。空壓機(jī)機(jī)身振動(dòng)是何原因和如何排除：1、軸瓦、十字頭、滑板間隙過

• 往復(fù)式壓縮機(jī)閥片材質(zhì)選擇的變革

  往復(fù)式（活塞式）壓縮機(jī)在工業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用特別是在制冷設(shè)備領(lǐng)域。壓縮機(jī)的**部件是氣閥作為氣閥的重要組成部分其壽命決定了壓縮機(jī)的故障維護(hù)時(shí)間。因此閥板材料的選擇是影響氣閥可靠性的關(guān)鍵因素之一。圖1：氣閥結(jié)構(gòu)圖壓縮機(jī)閥片對(duì)材料的要求n 高韌性：閥片需要高韌性。當(dāng)它承受沖擊力時(shí)它可以吸收一定的熱量或者當(dāng)有裂紋時(shí)它可以防止裂紋繼續(xù)擴(kuò)張。n 抗疲勞：閥片需要高頻往復(fù)沖擊因此閥片需要具有優(yōu)異的抗

• 【墊片墊圈】密封墊片安裝要求

  密封墊片安裝要求1、密封墊片與法蘭密封面應(yīng)清洗干凈，不得有任何影響連接密封性能的劃痕、斑點(diǎn)等缺陷存在。2、密封墊片外徑應(yīng)比法蘭密封面外小，密封墊片內(nèi)徑應(yīng)比管道內(nèi)徑稍大，兩內(nèi)徑的差一般取密封墊片厚度的2倍，以保證壓緊后，密封墊片內(nèi)緣不致伸入容器或管道內(nèi)，以免妨礙容器或管道中流體的流動(dòng)。3、密封墊片預(yù)緊力不應(yīng)**過設(shè)計(jì)規(guī)定，以免密封墊片過度壓縮喪失回彈能力。4、 密封墊片壓緊時(shí)，較好使用扭矩扳手。對(duì)大型