常見的金屬靶材有哪些?

時間：2022-01-22作者：醴陵市利吉升新材料有限公司瀏覽：453

靶材便是快速荷能粒子負電子的總體目標原材料。靶材類型比較多,有金屬類、合金類、金屬氧化物類這些,用的領(lǐng)域也各有不同,運用很普遍。那麼普遍的金屬靶材有什么?

普遍金屬靶材的類型如下所示

基本金屬軋材鎂Mg、錳M、鐵Fe、鈷CO、鎳Ni、銅Cu、鋅Zn、鉛Pd、錫S、鋁AL

小金屬靶材銦I、鍺Ge、鎵Ga、銻Sb、鉍Bi、鎘Cd

硅化物金屬靶材鈦Ti、鍇Zr、鉿Hf、釩V鈮№b、鉭Ta、銘Cr、鉬M、鎢W、錸Re

貴金屬靶材金A、銀Ag、鈀Pd、鉑Pt、銥1r、釕Ru、銠Rh、鋨0s

半金屬靶材碳C、硼B(yǎng)、碲Te、硒Se

希土金屬靶材釓Gd、釤Sm、鈽Ce、釔Y、鑭La、鏡Yb、鉺r、鋱Tb、鈥H、銩

釹Nd、鐠Pr、镥Lu、銪Eu、鈧Sc

瓷器靶材氧化鋅鋁Az0、氧化銦錫∏I0、氧化鋅Zn0、氮化鋁AN、氮化鈦T、碳化硼B(yǎng)N、

鈦酸鋇 Batio3、鈦酸鉍 BIlio3、碳碳復(fù)合材料SiC、鈦酸鍶 Srtio3、碳化鈦TC、鈷合金W、鈮

酸鋰 Linbo3

合金靶材金錫合金AuSn、金鍺鎳合金 auGeNi、鋅鋁合金ZmA1、鋁銅合金AlCU、鉆鐵

硼臺金 Cofeb、鐵錳合金FeMn、銥錳合金1rMn鋯鈦合金Z「T、鎳絡(luò)合金NiCr、銅鋼鎵合

金 Cuin ga、銅鋅錫硫合金CZTS

創(chuàng)镕金屬原材料（沈陽市）是借助于東北大學(xué)科技園區(qū)，專業(yè)新型材料產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)制造和全世界市場銷售的新科技綜合型企業(yè)。有******干部的高質(zhì)量研發(fā)部門，豐富多彩管理心得的職業(yè)經(jīng)理人所**干部的營銷推廣團隊和優(yōu)異的產(chǎn)業(yè)鏈職工，并擁有上百項國家發(fā)明**。





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• 詞條

  詞條說明

• 靶材用在什么設(shè)備

  做金屬材料的靶材，必須真空熔化爐，或是真空燒結(jié)爐或氡氣氛圍燒結(jié)爐開展制坯；隨后有可能必須鍛錘和軋機開展工作壓力成型生產(chǎn)加工；然后必須真空退火爐開展靶材熱處理工藝；隨后必須超聲波無損檢測設(shè)備開展檢驗；必須電鏡、ICP、激光粒度儀、費氏粒度儀、金相顯微鏡以及制樣機器設(shè)備等開展**化學(xué)有效成分剖析、金相檢驗、粉末狀粒度分布乃至晶體缺陷剖析。隨后還必須各種車銑數(shù)控磨床開展機械加工；較終還必須關(guān)聯(lián)機器設(shè)備和

• 研發(fā)技術(shù)

  公司團隊服務(wù)鍍膜領(lǐng)域十二年，對各材料的靶材研發(fā)、設(shè)計、制造、擁有成熟的經(jīng)驗；公司與國內(nèi)外各行業(yè)科研院所長期合作，為眾多國內(nèi)外工程項目提供了優(yōu)質(zhì)的靶材產(chǎn)品；公司注重用戶實踐與產(chǎn)品研發(fā)，**多項**和研發(fā)成果。

• 靶材可以應(yīng)用在哪些領(lǐng)域？

  眾所周知，靶材材料的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢息息相關(guān)，隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進，靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變化。如Ic制造商．近段時間致力于低電阻率銅布線的開發(fā)，預(yù)計未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜，這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發(fā)將刻不容緩。另外，近年來平面顯示器（FPD）大幅度取代原以陰極射線管（CRT）為主的電腦顯示器及電視機市場．亦將大幅增加ITO靶材的技術(shù)與市場需

• 淺談半導(dǎo)體靶材

  靶材，特別是高純度濺射靶材應(yīng)用于電子元器件制造的物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，PVD)工藝，是制備晶圓、面板、太陽能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。所謂濺射，是制備薄膜材料的主要技術(shù)，也是PVD的一種。它通過在PVD設(shè)備中用離子對目標物進行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱