特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

時間：2023-07-05作者：廣州市旺氣貿(mào)易有限公司瀏覽：78

前言：一個工藝技術(shù)**的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工方面做一個簡單描述。



一：概念

特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、**次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點。

其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點

二：分類

特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。


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• 詞條

  詞條說明

• 二氧化碳知多少

  ?？紤?yīng)用一：制冷劑固態(tài)二氧化碳壓縮后又叫干冰，在低溫保存食品、制造舞臺煙霧、人工降雨中有大量的應(yīng)用。因為干冰零下75℃時會發(fā)生升華現(xiàn)象，升華會吸收周圍的熱量，使溫度快速降低、周圍水汽凝結(jié)，就生成了一種云霧繚繞的現(xiàn)象，就是我們在舞臺上看到的煙霧繚繞現(xiàn)象。若是用飛機在高空中噴灑干冰，水蒸氣遇冷液化，會形成小雨滴，這時就會產(chǎn)生降雨。?？紤?yīng)用二：防腐劑在現(xiàn)代化的倉庫中常充入二氧化碳。用二氧化碳儲藏的食品，

• 實驗室制取二氧化碳應(yīng)注意什么

  實驗室制取二氧化碳應(yīng)注意：1.不能用濃鹽酸代替稀鹽酸，因為濃鹽酸具有較強的揮發(fā)性，會使生成的CO2中混有而不純。不能用稀代替稀鹽酸，因為稀與碳酸鈣反應(yīng)后生成微溶于水的CaSO4，CaSO4覆蓋在石灰石表面，阻止反應(yīng)的繼續(xù)進行。不能用碳酸鈉代替石灰石，因為Na2CO3易溶于水，與鹽酸反應(yīng)速率快，不利于收集二氧化碳氣體。2.長頸漏斗的下端管口應(yīng)插入液面以下形成液封，防止生成的氣體從長頸漏斗中逸散。反應(yīng)

• 高純度運用

  在電子中，高純度運用十分廣泛。在半導(dǎo)體與集成電路制造與生產(chǎn)過程中，需要高純對其進氛保護與清洗，保證半導(dǎo)體與集成電路的質(zhì)量；在半導(dǎo)體電池和電子合金材料等中，高純被用于電子產(chǎn)品的封裝、燒結(jié)、退火、還原、儲存等環(huán)節(jié)；在大規(guī)模集成電路、彩電顯像管液晶以及半導(dǎo)體原件的處理中，高純被用于十分重要的源；在單晶硅、多晶硅與一些外延產(chǎn)業(yè)中運用高純，不僅能夠提高生產(chǎn)效率，還有效提升了產(chǎn)品質(zhì)量；在電子行業(yè)中的磁材行業(yè)塑

• 二氧化碳制冷技術(shù)原理是什么

  二氧化碳是自然界中的一種物質(zhì)，也是一種非常好的制冷物質(zhì)，所以在很多的地方，人們通過二氧化碳來實現(xiàn)制冷的目的，今天小編就來為大家介紹下二氧化碳制冷技術(shù)的一些原理及比較適合應(yīng)用的領(lǐng)域供大家參考了解。二氧化碳作為一種自然制冷劑，由于其優(yōu)良的環(huán)保性能和制冷性能，在近20年來得到了高度重視，其研究與開發(fā)**迅速進展。本書介紹了二氧化碳制冷技術(shù)的歷史和現(xiàn)狀、二氧化碳的熱物理性質(zhì)、流動換熱特性、二氧化碳與潤滑油