M-2000系列光譜橢圓儀是為滿足薄膜表征的需求而設(shè)計(jì)的。RCE技術(shù)結(jié)合了旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器橢圓儀和CCD檢測,在幾分之一秒內(nèi)收集整個(gè)光譜(數(shù)百個(gè)波長),并有多種配置。擅長于從原位監(jiān)測和過程控制到大面積均勻性繪圖和通用薄膜表征的橢偏儀。光譜檢測RCE設(shè)計(jì)與CCD檢測兼容,可同時(shí)測量波長。光譜范圍采集從紫外線到近紅外的700多個(gè)波長同時(shí)采集。 適合直接連接到您的工藝室或配置在我們的桌面底座上,進(jìn)行準(zhǔn)確的橢圓測量。
美國J.A.Woollam光譜橢圓儀電源維修;M-2000旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償橢偏儀高壓發(fā)生器維修。
應(yīng)用范圍材料:半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、金屬、多層等。
可選光譜范圍:
V型 370-1000nm
U型 245-1000nm
D型 193-1000nm
紅外擴(kuò)展 1000-1700nm
可選變角:手動連續(xù)可變;自動連續(xù)可變
微光斑選件:25×60微米
光譜型橢偏儀維修類型如下:
1、M-2000 光譜型橢偏儀
無論是科研還是工業(yè)生產(chǎn),M-2000都可以滿足您的需求,多樣的配置選項(xiàng)滿足不同用戶的要求。旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償技術(shù)確定Delta的準(zhǔn)確測量,CCD列陣的使用使全光譜掃描可在幾秒中內(nèi)完成。
2、Alpha-SE 光譜型橢偏儀
α-SE是一款高性價(jià)比的光譜型橢偏儀。簡約設(shè)計(jì),理想的薄膜分析工具。計(jì)算機(jī)通過通訊口控制儀器、數(shù)據(jù)采集。配置易用的數(shù)據(jù)分析軟件,易于使用,帶有選項(xiàng)的按鈕式操作軟件技術(shù),基于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償技術(shù),十秒內(nèi)完成180個(gè)波長的測量及數(shù)據(jù)的擬合 功能強(qiáng) 提供厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙、界面層等數(shù)據(jù)應(yīng)用范圍,適用于可見光譜段薄膜的研究及日常工藝控制。
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詞條說明
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