光譜共焦傳感器原理簡介
1. 一束白光穿過小孔S,照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長的單色光,每一個波長對應一個固定的距離值。
2. 當對象出現(xiàn)在測量區(qū)域的時候,一個特定波長的單色光正好照射在其表面,并且反射進光學系統(tǒng)。
3. 此反射光通過一個小孔S,,(只有**聚焦在被測體表面的光才可以穿過這個小孔),由波長識別系統(tǒng)(光譜儀)識別其波長,從而得到其所代表的精確距離值。
4.由光源射出一束寬光譜的復色光(呈白色),通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長的單色光。每一個波長的焦點都對應一個距離值。測量光射到物體表面被反射回來,只有滿足共焦條件的單色光,可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的焦點的波長,換算獲得距離值.
詞條
詞條說明
ERT光譜共焦測量系統(tǒng)適用于3D粗糙度、尺寸測量和3D形貌測量等測量任務 廣泛應用于以下微觀精密測量領域: ??玻璃(浮法玻璃在線厚度檢測,3D測量) ??微電子(粗糙度,3D測量,缺陷檢測) ??機械(粗糙度,摩擦磨損,3D測量,腐蝕分析) ??光學鏡片(粗糙度,3D測量) ? 光譜共焦測量技術實現(xiàn)在線檢測測量
? ? ? ?光譜共焦測量技術的優(yōu)點 ? ? ? ?使用光譜共焦測量技術,可以得到**高分辨率。納米級分辨率源于上述經過特殊處理得到的加長光譜范圍。 ? ? ? ?由于采用檢測焦點的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測量光斑,從而允許測量非常小的被測物體。這也意味
激光測量法和光譜共焦測量技術的區(qū)別 ? ? ? 使用傳統(tǒng)三角測距法時,隨著高度不同,測量位置或光斑大小會發(fā)生改變。 ? ? ? 而共焦位移傳感器的同軸共焦原理可以保證即使被測物存在傾斜或翹曲,也可進行高精度的測量,測量點不會改變。 ? ? ? ?三角測距是利用感光元件(CCD/CMOS)上的光點位
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