特氣五項(xiàng)檢測(cè)的流程及意義

時(shí)間：2024-02-27作者：上海昉科儀器設(shè)備有限公司瀏覽：94

l 壓力測(cè)試

目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備連接在設(shè)定測(cè)試壓力的條件下保持沒有泄露點(diǎn)。

壓力測(cè)試包括壓強(qiáng)測(cè)試和氣密性測(cè)試：

1) 壓強(qiáng)測(cè)試，沒有壓降@規(guī)定壓力*30分鐘，測(cè)試壓力為使用壓力的1.2倍；

2) 氣密性測(cè)試<=±1%壓降 @規(guī)定壓力*24小時(shí)，測(cè)試壓力為使用壓力的1.1倍；

測(cè)試的工具可以由以下方式進(jìn)行：

1) 壓力表讀數(shù)；

2) 圓盤壓力儀；

壓力測(cè)試結(jié)果會(huì)受溫度的影響，在測(cè)試過程中要注意溫度的變化及對(duì)溫度的紀(jì)錄，如溫度偏差較大，則需要進(jìn)行必要的補(bǔ)償修正計(jì)算。

l 氦檢漏測(cè)試

目的在于保證管道系統(tǒng)焊道或設(shè)備連接在負(fù)壓作用下合乎漏率的要求。

氦檢漏測(cè)試目前有3種方式，針對(duì)我們特氣的系統(tǒng)，通常采用真空噴氦的方式。

測(cè)試儀器：氦檢儀

真空度漏率：cc.atm/sec  或mbar.L/s

漏率的意義：

1.0*10^-5 cc.atm/sec          1 cc/day

1.0*10^-7 cc.atm/sec          3 cc/year

1.0*10^-9 cc.atm/sec          3 cc/100year

通常特殊氣體的漏率我們要求在1.0*10^-9 cc.atm/sec以上；

氦檢測(cè)試完成后，對(duì)工藝管道進(jìn)行充壓，以避免系統(tǒng)負(fù)壓吸入大量不純物；充壓氣體為高純氣體，回充后壓力宜為10~15psi，這時(shí)才可以斷開被測(cè)管道。

l 顆粒測(cè)試

目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備的內(nèi)壁或者死角無影響制程的顆粒雜質(zhì)。

顆粒測(cè)試的原理：被測(cè)氣體通過測(cè)試儀器時(shí)，如果氣流中有顆粒(該顆粒在測(cè)試儀器可以監(jiān)控的范圍內(nèi))，測(cè)試儀器會(huì)通過內(nèi)部的產(chǎn)生的激光照射該取樣氣體，再通過內(nèi)部的計(jì)數(shù)裝置進(jìn)行分類計(jì)數(shù)，從而得出該取樣氣體的顆粒測(cè)試值。

測(cè)試儀器顯示的測(cè)試規(guī)格值有8個(gè)(um)：0.1，0.2，0.3，0.5，1.0，2.0，3.0，5.0；

測(cè)試取樣：0.1scfm;(10分鐘/次)

測(cè)試值單位：？pcs/scf >？μm

顆粒測(cè)試值取增量，所以對(duì)吹掃氣源有一定的要求。

l 水分氧分測(cè)試

目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備的內(nèi)壁或者死角無影響制程的水分和氧分。

高純系統(tǒng)的水分和氧分測(cè)試的單位：ppb(10^-9),即每立方米被測(cè)試氣體中只有十億分之一立方米被測(cè)不純物；

不純物測(cè)試過程中，當(dāng)測(cè)試顯示值合乎測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)并保持20分鐘不變或者持續(xù)穩(wěn)定下降，則可以認(rèn)定合格。如果測(cè)試顯示值仍然在上升，即使顯示值規(guī)定值也不能認(rèn)定合格。

水分和氧分測(cè)試值取增量，所以對(duì)吹掃氣源有一定的要求。

水分測(cè)試取樣氣體的流量為200SCCM，測(cè)試儀器開機(jī)后需要升溫到60℃采能正常工作(這時(shí)一個(gè)波動(dòng)的過程)；

氧含量測(cè)試取樣氣體的流量為1SLPM。

 


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• 特氣五項(xiàng)檢測(cè)的流程及意義

  l?壓力測(cè)試目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備連接在設(shè)定測(cè)試壓力的條件下保持沒有泄露點(diǎn)。壓力測(cè)試包括壓強(qiáng)測(cè)試和氣密性測(cè)試：1)?壓強(qiáng)測(cè)試，沒有壓降@規(guī)定壓力*30分鐘，測(cè)試壓力為使用壓力的1.2倍；2)?氣密性測(cè)試<=±1%壓降 @規(guī)定壓力*24小時(shí)，測(cè)試壓力為使用壓力的1.1倍；測(cè)試的工具可以由以下方式進(jìn)行：1)?壓力表讀數(shù)；2)?圓盤壓力儀；壓力

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  氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力測(cè)量原理，實(shí)現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測(cè)量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時(shí)，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會(huì)從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識(shí)別能力，僅給體中的氦氣分壓力信號(hào)值。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對(duì)的方法就可以獲得漏孔對(duì)氦泄漏量。根據(jù)檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關(guān)系不同，可以將氦質(zhì)譜檢漏法分為真空法、