APTECH調(diào)壓閥

    APTECH調(diào)壓閥

    產(chǎn)品型號:AZ1015S 2PW FV4 FV4

    關(guān)鍵字:APTECH調(diào)壓閥AZ1000

    關(guān)鍵字描述:SS 316L結(jié)構(gòu),清洗,組裝和包裝用于高純度半導(dǎo)體應(yīng)用。

    產(chǎn)品介紹:

    SS 316L結(jié)構(gòu)

    10 μin.表面處理(25 μin.可選)

    真空至3500 psig(241 bar)入口

    1至300 psig(0.07至21 bar)出口

    清洗,組裝和包裝用于高純度半導(dǎo)體應(yīng)用

    流量

    -標準至30 slpm

    -HF選項為120 slpm

    使用點應(yīng)用的可以選擇調(diào)節(jié)器

    旋鈕LOTO

    參數(shù):

    傳輸壓力:5至150 psig(0.34至10 bar)

    耐壓工作壓力的150%

    爆破壓力工作壓力的300%

    流量系數(shù)(Cv)0.09(可選0.15 HF)

    內(nèi)部容積0.49 in38 cm3

    端口:2口對接焊

    閥體,噴嘴SS 316L

    隔膜SS 316L

    涂層電拋光和鈍化

    閥座PCTFE(可選聚酰亞胺和PTFE)

    入口/出口連接1/4英寸面密封,母接頭

    舷內(nèi)泄漏:2 x 10-10 sccs

    舷外泄漏:2 x 10-9 sccs He

    座椅泄漏:4 x 10-8 sccs

    安裝面或面板(可選)

    工作溫度-40°至+ 160°F(-40°至+ 71°C)


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