潔凈室中的溫濕度控制

    潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。


    具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜**過25度。


    濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度**過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度**30%時,又由于靜電力的作用使粒子也*吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件*發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)較佳溫度范圍為35

    深圳市碧海青云凈化科技有限公司專注于凈化工程,無塵車間,空氣過濾器,防靜電產(chǎn)品等

  • 詞條

    詞條說明

  • 醫(yī)用洗手池的用處和特點

    ? ? 醫(yī)用洗手池是手術(shù)醫(yī)務(wù)人員或無塵車間洗手**設(shè)備,采用人體感應(yīng)自動給水,因此 *使用人員觸摸,保證清潔,流量500l/h,同時采用雙柱超濾組件,具備反沖技術(shù),可 長期使用。本公司生產(chǎn)制造的醫(yī)用洗手池,整體采用不銹鋼SUS304不銹鋼制造,外觀美觀 ,經(jīng)久耐用。 產(chǎn)品特點: 1、全自動感應(yīng),避免醫(yī)護人員的手部碰觸,有效防止洗手時的交叉感染。 2、恒溫供水裝置選擇,水溫可根

  • 凈化工作臺垂直送風(fēng)與水平送風(fēng)的區(qū)別

    水平送風(fēng)與垂直送風(fēng)凈化工作臺都能滿足實驗需要,所要考慮的就是氣流流型(根據(jù)實 驗看哪種送風(fēng)形式對實驗影響較?。?。 一般都是用垂直的;垂直送風(fēng)的也就是垂直向下 吹,垂直流形,準(zhǔn)閉合式臺面,可有效防止外部合流透入及操作異味對人體的刺激。如 果在工作臺里放顯微鏡,那垂直送風(fēng)的氣流會被顯微鏡阻擋,這種情況就要選擇水平風(fēng); 但一般的實驗都用垂直的,玻璃門一般都是上下移動的。

  • 單人雙吹風(fēng)淋室構(gòu)造特點

    ■全部是用優(yōu)質(zhì)的A3冷扎鋼板多層酸洗噴塑或全不銹鋼制造。與未涂層的冷扎鋼板相比 ,用多層酸洗噴塑A3冷扎鋼板對外來的腐蝕和生銹起到一個良好的保護屏障。 ? ■多角度可調(diào)整的不銹鋼噴嘴經(jīng)久耐用;采用耐用美觀的不銹鋼門,配透明視窗;地面 采用的是抗磨損*清洗的不銹鋼板。 ? ■污染的空氣通過初效和高效過濾器過濾可達到**的過濾效率。 ? ■與普通電子照明相比,K

  • 凈化工作臺的安裝程序

    1、凈化工作臺廠家提示新安裝或長期未使用的凈化工作臺,使用前必須對凈化工作臺和 周圍環(huán)境用不產(chǎn)生纖維的工具進行認真清潔。 2、凈化工作臺廠家提醒在對凈化工作臺安裝清洗完畢后,應(yīng)對設(shè)備進行系統(tǒng)檢測及調(diào)節(jié) ,使設(shè)備達到較佳工作狀況方可使用。 3、凈化工作臺廠家提示電源接通后,按控制面板上所示的操作。啟動紫外燈開關(guān),紫外 照射分鐘后關(guān)閉紫外開關(guān)。啟動風(fēng)機開關(guān),設(shè)備自凈分鐘才能開始工作,工作結(jié)束后關(guān) 閉風(fēng)

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