LED-半自動(dòng)UV照射機(jī)STK-1020專門用于硅晶圓、玻璃、陶瓷等

時(shí)間：2021-04-14作者：上海衡鵬能源科技有限公司瀏覽：119

LED-半自動(dòng)UV照射機(jī)STK-1020專門用于硅晶圓、玻璃、陶瓷等



LED-半自動(dòng)UV照射機(jī)STK-1020概要：
半自動(dòng)LED-UV照射機(jī)STK-1020專門用于硅晶圓、玻璃、陶瓷等產(chǎn)品切割后的解膠工序，采用手動(dòng)上下料方式，配備觸摸顯示屏，操作方便快捷。機(jī)臺(tái)的LED UV工作模組可發(fā)出波長為365nm的紫外光對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行照射解膠。UV照射能量出廠較大設(shè)置為450mW/cm2。同時(shí)設(shè)備配置有UV安全保護(hù)裝置。



UV照射機(jī)STK-1020產(chǎn)品規(guī)格：
物料規(guī)格：可支持 6”~12”Frame 
UV單元：1 套 LED UV 模組
UV波長：365 nm
UV照射能量：50～450 mW/ cm2，照射能量實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，能量可程序調(diào)節(jié)。 
UV照射均勻性：<=±10 %
UV照射時(shí)間: 0～999sec,程序可設(shè)定
掃描速度：0～100 mm /s, 程序可設(shè)定
燈箱溫度：實(shí)時(shí)監(jiān)控?zé)纛^和燈箱溫度
UV燈類型：LED 型冷光源，能量強(qiáng)，壽命長，能耗低，發(fā)熱量小
控制單元：PLC 和觸摸屏
上料/下料：手動(dòng)
電源：單相 220V, 6A
氣體：氮?dú)饪蛇x配
設(shè)備外殼：白色噴涂外殼
設(shè)備尺寸：780mm(寬) x 620mm(深) x 300mm(高) 
設(shè)備凈重：約 300kg
晶圓良率：>=**
更換產(chǎn)品時(shí)間：<=5 分鐘





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