半導(dǎo)體材料分析方法與標(biāo)準(zhǔn)

時(shí)間：2023-09-11作者：英格爾檢測(cè)技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司瀏覽：142

半導(dǎo)體電子元器件在生產(chǎn)制造過程中會(huì)遇到不同程度的化學(xué)品污染及外界干擾，例如晶圓表面會(huì)遇到本可以避免的刻蝕，以及難以去除的化合物等。英格爾半導(dǎo)體材料分析實(shí)驗(yàn)室可通過測(cè)試樣品中涉及的顆粒物、金屬離子、陰陽離子等化學(xué)指標(biāo)達(dá)到生產(chǎn)測(cè)試目的。

 

1.英格爾半導(dǎo)體材料分析實(shí)驗(yàn)室：

潔凈化學(xué)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)是一項(xiàng)復(fù)雜的系統(tǒng)工程，與其他潔凈室不同，它所要求的不僅僅是顆粒物，同時(shí)還需要對(duì)**污染物、金屬污染等進(jìn)行管控。例如半導(dǎo)體**制程工藝中使用的**純水，**純化學(xué)品的使用要求日益提高，材料的選擇在半導(dǎo)體濕法工藝中越發(fā)重要，對(duì)含氟聚合物的純度要求也越來越高。SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)對(duì)UHP液態(tài)化學(xué)品輸送系統(tǒng)(LCDS)中高聚合物材料和組件的選擇、生產(chǎn)過 程、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等各方面均提出了要求和有效建議。

2.英格爾實(shí)驗(yàn)室測(cè)試依據(jù)：

SEMI F57用于**純水和液態(tài)化學(xué)品輸送系統(tǒng)的聚合物材料及組件的規(guī)范文件。標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了在UPW分配系統(tǒng)中輸送**純水(UPW)的**高純度(UHP)聚合物材料和組件的較低性能要求。主要針對(duì)聚合物材料和組件的性能要求和驗(yàn)證。

**半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)SEMI為半導(dǎo)體制程設(shè)備提供了一系列環(huán)境、安全和衛(wèi)生方面的準(zhǔn)則，適用于所有用于芯片制造、量測(cè)、組裝和測(cè)試的設(shè)備。

3.SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)適用的主要產(chǎn)品類別有：

Ⅰ. 半導(dǎo)體**純水和液態(tài)化學(xué)品傳送系統(tǒng)中的聚合物材料、組件及過程設(shè)備；

Ⅱ. 管道、配件、閥門、過濾殼體、壓力傳感器、流量計(jì)、計(jì)量器、校準(zhǔn)器；（項(xiàng)目可寫）

4.SEMI F57 測(cè)試項(xiàng)目4類參數(shù)：

? 陰離子污染

? 金屬離子污染

? 總**碳 TOC

? 表面粗糙度

關(guān)于半導(dǎo)體材料潔凈度檢測(cè)，英格爾實(shí)驗(yàn)室可根據(jù)客戶不同類別的化學(xué)測(cè)試項(xiàng)目需求，制定檢出能力的綜合設(shè)計(jì)方案。從多方面出發(fā)：單臺(tái)結(jié)構(gòu)功能設(shè)計(jì)、供排水系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、平面設(shè)計(jì)系統(tǒng)等。關(guān)于半導(dǎo)體材料潔凈度檢測(cè)相關(guān)，英格爾檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室建議在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用適當(dāng)材料，在實(shí)驗(yàn)室投入后可避免輕質(zhì)量元素疑難等問題。


英格爾檢測(cè)技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司專注于ISO9001認(rèn)證,電子芯片檢測(cè),塑料檢測(cè),橡膠檢測(cè),涂料檢測(cè),化妝品檢測(cè),材料檢測(cè),化學(xué)品成分分析等, 歡迎致電 15800989628

• 詞條

  詞條說明

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