Piezoconcept納米平臺(tái)的各個(gè)參數(shù)

時(shí)間：2022-07-12作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：153

Piezoconcept是壓電納米平臺(tái)，壓電納米臺(tái)和納米平移臺(tái)的良好供應(yīng)商，其應(yīng)用領(lǐng)域包括但不限于**分辨率顯微鏡、光阱和原子力顯微鏡，已經(jīng)廣泛被世界*大學(xué)和研究所從事*研究的**科學(xué)家使用。Piezoconcept采用高精度硅傳感器，提供比**電容傳感器較精確的納米定位反饋。







這篇文章將帶領(lǐng)大家認(rèn)識(shí)并了解納米平移臺(tái)的各種參數(shù)。下表是Piezoconcept一軸平移臺(tái)FOC.500的參數(shù)圖，我們可以通過參數(shù)圖了解到FOC.500是一款運(yùn)動(dòng)范圍500um，分辨率0.5nm，本底噪聲0.05nm，重復(fù)性1nm，線性度0.02%，共振頻率200Hz，剛度0.25N/um, 高精度硅傳感器，尺寸長(zhǎng)寬高59×63.3×41mm，材料鋁/不銹鋼/黃銅，電纜長(zhǎng)度為2m，高速控制器，較大負(fù)荷橫向使用1kg，縱向使用0.5kg。下面我們將列出各個(gè)參數(shù)的含義，方便大家了解。












Piezoconcept


納米平移臺(tái)參數(shù)

運(yùn)動(dòng)范圍：納米定位器的較大位移。

分辨率：平臺(tái)可以移動(dòng)的較小步長(zhǎng)。

本底噪聲：當(dāng)平移臺(tái)處于靜態(tài)指令時(shí)，平移臺(tái)晃動(dòng)的振幅。它通常用峰值來測(cè)量和*。它是傳感器噪聲、驅(qū)動(dòng)器電子噪聲和指令噪聲等的組合。由于我們使用的硅HR傳感器的信噪比非常高，所以我們平臺(tái)的位置噪聲非常有限。

重復(fù)性：用相同的方法，同一試驗(yàn)材料，在相同的條件下獲得的一系列結(jié)果之間的一致程度。相同的條件是指同一操作者，同一設(shè)備，同一實(shí)驗(yàn)室和短暫的時(shí)間間隔。

線性度誤差:實(shí)際位置和一階較佳擬合線（直線）之間的誤差。我們的納米定位產(chǎn)品通過激光干涉儀進(jìn)行校準(zhǔn)，非線性誤差被補(bǔ)償?shù)饺谐痰?/span>0.02%。

共振頻率：壓電臺(tái)是以共振頻率為特征的振蕩機(jī)械系統(tǒng)。我們給出的諧振頻率是納米定位器上可以看到的較低諧振頻率。一般來說，系統(tǒng)的諧振頻率越高，系統(tǒng)的穩(wěn)定性就越高，工作帶寬就越寬。壓電臺(tái)的諧振頻率是由堅(jiān)固性和質(zhì)量之比的平方根決定的。

剛度：剛度是使物體產(chǎn)生單位變形所需的外力值。剛度與物體的材料性質(zhì)、幾何形狀、邊界支持情況以及外力作用形式有關(guān)。

硅HR傳感器:Piezoconcept使用溫度補(bǔ)償?shù)母叻直媛使鑲鞲衅骶W(wǎng)絡(luò)來達(dá)到較高的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。這種測(cè)量裝置能夠測(cè)量皮米范圍內(nèi)的位置噪聲，其反應(yīng)不像其他**傳感器那樣依賴于污染物的存在和氣壓的變化。

**精度：實(shí)際位置與期望位置之間的偏差。如果一個(gè)平臺(tái)必須移動(dòng)100μm，但它只移動(dòng)了99.99μm（通過一個(gè)理想的刻度測(cè)量），那么不準(zhǔn)確度為10nm。沿著一個(gè)軸的*定位誤差被*為精度。**精度受校準(zhǔn)誤差、線性誤差、磁滯、阿貝誤差和定位噪聲的影響。

反沖力：反沖力是改變方向時(shí)發(fā)生的定位誤差。齒隙可由預(yù)載推力不足或驅(qū)動(dòng)部件嚙合不準(zhǔn)確引起，如齒輪齒。Piezoconcept的撓性運(yùn)動(dòng)平移機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器設(shè)計(jì)本質(zhì)上是沒有反沖的。

帶寬：平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的振幅下降3dB的頻率范圍。它反映了平臺(tái)可以跟隨驅(qū)動(dòng)信號(hào)的速度。

漂移：位置隨時(shí)間的變化，包括溫度變化和其他環(huán)境的影響。漂移可能來自于機(jī)械系統(tǒng)和電子設(shè)備。

摩擦。摩擦被定義為運(yùn)動(dòng)過程中接觸面之間的阻力。因?yàn)樗麄兪褂脧澢?，所以摩擦可能是恒定的或與速度有關(guān)。而Piezoconcept的納米定位器是無摩擦的。

滯后：前向掃描和后向掃描之間的定位誤差。閉環(huán)控制是這個(gè)問題的理想解決方案，通過使用高分辨率硅傳感器網(wǎng)絡(luò)提供反饋信號(hào)來完成。

正交性誤差:兩個(gè)定義的運(yùn)動(dòng)軸的角度偏移，使其相互之間成為正交。它可以被解釋為串?dāng)_的一部分。

階躍響應(yīng)時(shí)間：階躍響應(yīng)時(shí)間是納米定位器從指令值的10%到指令值的90%所需的時(shí)間。階躍響應(yīng)時(shí)間反映了系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性。








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