HVA 真空閥門用在氣體管路系統(tǒng)

時(shí)間：2024-01-11

某半導(dǎo)體工廠在生產(chǎn)線上氣體輸送環(huán)節(jié)的氣體管路系統(tǒng)采用伯東 HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 ，作為真空隔離密封.

HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格:

閥門材質(zhì):
- 閥門主體	304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封	AM - 350
閥門密封方式
- 高真空	氟橡膠
- 高真空	銅墊圈 / 氟橡膠
真空:
- 壓力范圍	高真空 1x10-9 mbar, 高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9 mbar l/S
- 差壓關(guān)閉	1 bar ( 任意位置 )
- 開啟前大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 彈性體密封閥蓋	150°C
- 金屬密封閥蓋	-開啟溫度：200°C -關(guān)閉值：150°C
- 驅(qū)動(dòng)方式	手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
機(jī)制
手動(dòng)：	手搖曲柄
電磁閥供電電壓	120 VAC 50 /60 Hz
電磁閥可選電壓	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
電磁閥位置指示器,大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
氣動(dòng)送風(fēng)：	80 psig
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
公稱通徑: DN 16 - 800 mm

HVA 是真空技術(shù)者的真空閥門(插板閥), 是高真空閥門的主要制造商和供應(yīng)商.

在設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)時(shí), 可以輕松集成 HVA 閥門. HVA 閘閥從5/8英寸（16毫米）到32英寸（800毫米）, 而矩形/狹縫閥的大距離為80英寸（2m）, 可以滿足您的真空閥門(插板閥)要求. 無論您是升級(jí)現(xiàn)有的真空系統(tǒng)還是 OEM 設(shè)計(jì)新的系統(tǒng), HVA 都可以提供經(jīng)濟(jì)的替代閥門解決方案.

HVA 真空閥門(插板閥)的閥體和所有主要內(nèi)部組件都是內(nèi)部釬焊的真空爐, 了虛擬泄漏的可能性, 閥體變形小化.

40多年來, HVA 一直在建造業(yè)內(nèi)質(zhì)量, 設(shè)計(jì)的真空閥門(插板閥). HVA 代表著質(zhì)量, 工程, 定制務(wù).

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上海伯東 : 羅女士

詞條
詞條說明
上海伯東 HVA 真空插板閥應(yīng)用于半導(dǎo)體管道中
因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。美國(guó) HVA?真空插板閥在半導(dǎo)體管道中的應(yīng)用半導(dǎo)體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(tǒng) ( 真空管路 ) 的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 上海伯東美國(guó) HVA?插板閥廣泛用于高真空或**高真空的氣體輸送環(huán)節(jié),
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